浜松ホトニクス/イオナイザ(静電気除去)

フォトイオナイザ L12645

軟 X 線で空気を直接イオン化して除電する浜松ホトニクスの静電気除去装置。

フォトイオナイザ L12645とは

フォトイオナイザ L12645 は、浜松ホトニクスの微弱 X 線照射方式の除電装置です。従来のコロナ放電方式と違い、塵や電磁ノイズ、オゾンを発生させないクリーンな除電ができます。

X 線の照射角は 130° と広く、帯電体の近くで生成されたイオンが直接除電に寄与するため、送風が要りません。そのため軽い部品や粉体の除電にも使えます。プラスとマイナスのイオンが同時に同量生成されるので、逆帯電も起こりません。

電極の清掃が要らないメンテナンスフリーの設計で、長期間高い効果を保ちます。ヘッド部は従来品の約半分の大きさで、100〜240V の入力電源に対応し、CE マーキングにも適合しています。半導体・電子部品の製造時の帯電除去、高速移動体の除電、粉体材料の除電に使われます。

主な特長

  • •微弱 X 線照射方式(塵・ノイズ・オゾンなし)
  • •照射角 130°、送風不要
  • •逆帯電なし・メンテナンスフリー
  • •ヘッドは従来比約 1/2

主な仕様

除電方式軟 X 線照射(3 ~ 9.5 keV)
特徴オゾン・発じん・電磁ノイズなし・送風不要
主要用途クリーン環境での除電

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目浜松ホトニクスフォトイオナイザ L12645ヒューグルエレクトロニクス軟 X 線照射イオナイザ IRISYS®-SXシシド静電気BF-X2ME(WINSTAT)
除電方式軟 X 線照射(3 ~ 9.5 keV)軟 X 線照射コロナ放電(送風型・HDC-AC)
特徴オゾン・発じん・電磁ノイズなし・送風不要製造装置内へのオーダーメイド後付け設置経時変化が少なく保守期間が長い
主要用途クリーン環境での除電FPD・半導体製造装置内の静電気対策装置組込み・作業台での除電

※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

主な用途

  • •半導体・電子部品製造の静電気除去
  • •高速移動体・粉体の除電

掲載カテゴリ

フォトイオナイザ L12645は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。

メーカー

浜松ホトニクス

光電子増倍管・フォトダイオード・イメージセンサーを手掛ける光半導体の世界的大手メーカー。半導体検査装置・医療機器・科学計測など幅広い分野に光デバイスを供給する。

浜松ホトニクス の企業情報 →メーカー公式の製品ページ ↗

イオナイザ(静電気除去)のほかの製品

浜松ホトニクスのほかの製品

関連用語

出典・確認した公開情報
最終確認日:2026-10-06
半導体製造装置の製品一覧へ →