イオナイザ（静電気除去）メーカー3社
イオナイザは、空気中に正負のイオンを供給して帯電した物体の静電気を中和する装置です。クリーンルームは低湿度で絶縁物が多いため静電気が溜まりやすく、帯電したウェハは空気中の粒子を静電吸着してパーティクル不良を招きます。さらに、蓄積した電荷が放電すればゲート酸化膜を破壊する静電破壊（ESD）につながります。コロナ放電式や軟X線式があり、イオンバランスの偏りが逆に帯電を生むため、定期的なバランス測定と電極清掃が運用上の要点になります。
主要特徴
メーカー
3社の主要メーカー
半導体・フラットパネル製造関連機器のメーカー。ブロワー・ガン・バー型のイオナイザと静電気測定器、ウェハ用などの塵埃除去クリーナー、容器洗浄装置、BGテープ貼付装置やダイソーターなどの半導体組立関連装置を開発・製造する。
- •ブロワー・ガン・バー型のイオナイザ品揃え
- •静電気除去と塵埃除去を組み合わせたクリーン化技術
1938年創業の静電気対策機器メーカーで、国内で初めて静電気除去装置と測定器の製造に成功した。イオンバランスを保つ HDC-AC 方式のイオナイザを軸に、送風型・高周波式・電圧印加式・光照射型の除電装置、除電除塵装置、防爆型除電装置、静電気測定器を製造する。
- •国内初の静電気除去装置メーカーとしての実績
- •HDC-AC 方式によるイオンバランス制御
光電子増倍管・フォトダイオード・イメージセンサーを手掛ける光半導体の世界的大手メーカー。半導体検査装置・医療機器・科学計測など幅広い分野に光デバイスを供給する。
- •光電子増倍管で世界トップシェア
- •フォトダイオード・イメージセンサー技術に強み
関連カテゴリ
アクセスフロア・床材は、クリーンルームの垂直層流を床下へ抜けさせ、同時に配管・配線を通すための床構造です。
メーカー 1 社HEPA/ULPAエアフィルタHEPA/ULPAエアフィルタは、空気中の微粒子を捕集してクリーンルームの清浄度を作る中核部材です。
メーカー 3 社エアシャワー・パスボックスエアシャワー・パスボックスは、人や物がクリーンルームへ入る際に付着した粒子を除去する入口設備です。
メーカー 5 社ケミカルフィルタ（AMC除去）ケミカルフィルタは、粒子ではなくガス状の汚染物質（AMC：気中分子汚染）を除去するフィルタです。
メーカー 4 社クリーンベンチクリーンベンチは、作業面のごく限られた空間だけを高清浄度に保つ局所クリーン装置です。
メーカー 3 社無塵衣・手袋類無塵衣・手袋類は、作業者から出る粒子をクリーンルーム内へ放出させないための着用資材です。
メーカー 4 社クリーンルーム計測・運転管理クリーンルーム計測・運転管理は、清浄度・温湿度・差圧・気流といった環境パラメータを常時測定し、基準内に保つための計測機器と管理の仕組みです。
メーカー 4 社什器・マット・洗濯機類什器・マット・洗濯機類は、クリーンルームで使う備品と、その清浄度を保つための周辺設備です。
メーカー 5 社FFU・ファンフィルタユニットFFU（ファンフィルタユニット）は、送風ファンとHEPA/ULPAフィルタを一体化し、天井面から清浄空気を吹き下ろすユニットです。
メーカー 4 社