クリーンルーム部材メーカー8社Cleanroom Components

半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア（FOUP）・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。

• •半導体用CMPスラリー・研磨材料のグローバルトップ（CMC Materials統合後）
• •超純水・薬液フィルタで世界最高水準の汚染管理
• •FOUP・ウェハシッパーなどウェハ保護材料で業界標準

分析・計測機器の国内大手メーカー。半導体製造向けにはガス分析計・パーティクルカウンタ・分光エリプソメータなど、プロセス管理に不可欠な計測機器を展開する。

• •分析・計測機器で国内大手
• •半導体プロセス向けガス分析に強み
• •自動車・環境分野にも展開する総合計測力

分析・計測機器の国内大手メーカー。質量分析装置・表面分析装置・X線分析装置を中心に、半導体材料評価から医療機器まで幅広い分析技術を展開する。

• •分析・計測機器で国内トップクラス
• •質量分析・表面分析技術に強み
• •半導体材料評価から医療まで幅広い展開

産業用計測・制御システムの国内大手メーカー。半導体ファブ向けにはプローバー関連装置やプロセス計測機器を含む幅広い計測・制御ソリューションを展開する。

• •産業計測・制御システムで国内大手
• •半導体ファブ向け計測機器を展開
• •グローバルなエンジニアリング体制

水処理・超純水製造装置の国内大手メーカー。半導体ファブ向けの超純水（UPW）製造システムを中心に、排水処理まで一貫した水処理ソリューションを提供する。

• •超純水製造装置で国内トップクラス
• •半導体ファブ向け水処理インフラに強み
• •排水処理まで一貫対応

1973年設立のクリーンエアーシステム専門メーカー。電子工業・半導体、医薬品、食品などの業界向けに、クリーンルーム、エアーシャワー・パスボックス、クリーンブース・FFU、クリーンベンチ・安全キャビネットを設計・製造・販売し、施工と保守まで対応する。

• •クリーンルームから局所清浄機器までの一貫した品揃え
• •クリーンルームの施工・保守まで対応
• •国内16拠点・海外8拠点の供給体制

1939年設立のエアフィルタ専業メーカーで、ダイキン工業が株主。粗じんフィルタから超高性能フィルタ・ケミカルフィルタまでのフィルタ製品に加え、エアシャワー・パスボックス・フィルタユニットなどのクリーンルーム機器、ガラス繊維製品を製造し、クリーンルームの環境診断も行う。

• •粗じんから超高性能・ケミカルまでのフィルタ品揃え
• •エアシャワー・パスボックスなど入口設備も自社供給
• •気流・清浄度・ガス成分の環境診断サービス

冷却・空気清浄・温湿度制御の技術を組み合わせ、クリーンルーム用システム機器の設計・生産・販売・サービスを一貫して手がける。精密機器工場向けにエアシャワー、ファンフィルタユニット、クリーンブース、パスボックス、クリーンベンチなどを供給する。

• •エアシャワーからFFUまで入口・局所清浄機器を自社生産
• •組立式アルミクリーンブースなど局所クリーン化製品
• •温湿度空調機を含む省エネ提案