FOUP／FOSB フルオート洗浄システム UPC-12500（SORA）

300mm 用のヒューグルエレクトロニクスの全自動キャリア洗浄システム。

FOUP／FOSB フルオート洗浄システム UPC-12500とは

UPC-12500（SORA）は、ヒューグルエレクトロニクスの FOUP／FOSB フルオート洗浄システムです。ウェーハを運ぶ容器の FOUP や FOSB を洗浄し、パーティクルや汚染がウェーハに移るのを防ぎます。

2 流体ジェットによる超精密洗浄方式を採用しています。前機種から大きく改良した装置で、高いスループットとコンパクトな設置面積を両立しています。FOUP のフタの開閉を全自動で行い、相互汚染を防ぎます。

高効率の乾燥システムと省エネ対策を備え、設置寸法は 2,200(W)×3,250(D)×2,500(H)mm です。SEMI S2・S8 と CE の規格に準拠し、GEM300 の通信でオンラインの製造システムとつなげます。前機種の 300mm FOUP 自動洗浄での世界トップクラスの実績を受け継いでいます。

主な特長

•2 流体ジェットの超精密洗浄
•FOUP の自動開閉で相互汚染を防止
•高効率乾燥・省エネ
•SEMI S2／S8・CE、GEM300 対応

主な仕様

対象	300 mm FOUP・FOSB
洗浄方式	全自動
主要用途	ウェーハ容器の洗浄

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	芝浦メカトロニクスFOSB／FOUP 洗浄装置 FOC300 シリーズ	ヒューグルエレクトロニクスFOUP／FOSB フルオート洗浄システム UPC-12500（SORA）	ダルトンFOUP 洗浄装置
対象	300 mm FOSB・FOUP	300 mm FOUP・FOSB	FOUP
洗浄方式	2 流体ノズル	全自動	純水・高圧洗浄
主要用途	ウェーハ容器の洗浄	ウェーハ容器の洗浄	ウェーハ容器の洗浄