IRISYS-SX 是 Hugle Electronics 的軟 X 射線照射離子產生器(除靜電設備)。以軟 X 射線直接游離氣體分子,消除靜電。
可客製化後裝於製造設備內,用於 FPD 與半導體製造設備的靜電對策。
Hugle Electronics 以光直接游離氣體分子來除靜電的軟 X 射線離子產生器。
IRISYS-SX 是 Hugle Electronics 的軟 X 射線照射離子產生器(除靜電設備)。以軟 X 射線直接游離氣體分子,消除靜電。
可客製化後裝於製造設備內,用於 FPD 與半導體製造設備的靜電對策。
| 除靜電方式 | 軟 X 射線照射 |
|---|---|
| 特點 | 可客製化後裝於製造設備內 |
| 主要用途 | FPD・半導體製造設備內的靜電對策 |
規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。
Hugle Electronics(總部:日本)