最後更新:2026年10月23日載具清洗設備

FOUP/FOSB 全自動清洗系統 UPC-12500的特點與規格

Hugle Electronics・載具清洗設備

Hugle Electronics 的 300mm 用全自動載具清洗系統。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

UPC-12500(SORA)是 Hugle Electronics 的 FOUP/FOSB 全自動清洗系統。清洗搬運晶圓的容器 FOUP 與 FOSB,防止微粒與汙染轉移至晶圓。

採用以 2 流體噴射進行的超精密清洗方式。是由前代機型大幅改良的設備,兼顧高產能與精簡的占地面積。FOUP 的蓋子開閉全自動進行,防止交叉污染。

具備高效率乾燥系統與節能措施,機台尺寸為 2,200(W)×3,250(D)×2,500(H)mm。符合 SEMI S2・S8 與 CE 規範,以 GEM300 通訊連接線上製造系統。承襲前代機型在 300mm FOUP 自動清洗上的全球頂尖實績。

主要規格

對象300 mm FOUP・FOSB
清洗方式全自動
主要用途晶圓容器的清洗

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

2 流體噴射的超精密清洗
以 FOUP 自動開閉防止交叉污染
高效率乾燥・節能
支援 SEMI S2/S8・CE、GEM300

主要用途

  • 300mm FOUP・FOSB 的清洗

製造商

Hugle Electronics(總部:日本)

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資料來源

  1. Hugle Electronics 官方產品頁面:UPC-12500