UPC-12500(SORA)是 Hugle Electronics 的 FOUP/FOSB 全自動清洗系統。清洗搬運晶圓的容器 FOUP 與 FOSB,防止微粒與汙染轉移至晶圓。
採用以 2 流體噴射進行的超精密清洗方式。是由前代機型大幅改良的設備,兼顧高產能與精簡的占地面積。FOUP 的蓋子開閉全自動進行,防止交叉污染。
具備高效率乾燥系統與節能措施,機台尺寸為 2,200(W)×3,250(D)×2,500(H)mm。符合 SEMI S2・S8 與 CE 規範,以 GEM300 通訊連接線上製造系統。承襲前代機型在 300mm FOUP 自動清洗上的全球頂尖實績。