離子產生器（靜電消除）是什麼
離子產生器（Ionizer）是向空氣中供給正負離子，中和帶電物體靜電的設備。無塵室濕度低且絕緣物多，容易累積靜電，帶電的晶圓會以靜電吸附空氣中的微粒，導致微粒不良。此外，累積的電荷一旦放電，會造成破壞閘極氧化層的靜電破壞（ESD）。有電暈放電式與軟 X 射線式，由於離子平衡的偏差反而會造成帶電，定期量測平衡與清潔電極是運用上的要點。
重點整理
供給正負離子以中和帶電物的靜電
帶電的晶圓會以靜電吸附微粒，導致微粒不良
累積電荷放電會造成閘極氧化層的靜電破壞
定期量測離子平衡與清潔電極是運用的要點
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