無塵室零組件是什麼
無塵室零組件不是指建築物本身，而是實際創造並維持潔淨度之零組件的類別。FFU 從天花板向下吹出潔淨空氣，HEPA/ULPA 過濾器捕集粒子，化學過濾器則去除氨或有機酸等氣態分子汙染。人員帶入的發塵以空氣浴塵室（air shower）與無塵衣抑制，靜電造成的吸附則以離子產生器（ionizer）中和。只要缺少其中任何一項，潔淨度就無法成立，而且劣化是緩慢進行的，因此須搭配微粒計數器持續監控來運用。
細分類 10 類
主要細分類
- •高架地板・地板材料
- •HEPA/ULPA 空氣過濾器
- •風淋室・傳遞箱
- •化學濾網（去除 AMC）
- •無塵工作台
- •無塵衣・手套類
- •無塵室監測・運轉管理
- •無塵室家具・地墊・洗衣設備
- •FFU（風扇過濾機組）
- •靜電消除器（Ionizer）
重點整理
FFU 與 HEPA/ULPA 過濾器負責供應潔淨空氣與捕集粒子
化學過濾器去除 AMC（氣態分子汙染）
人員發塵以無塵衣與空氣浴塵室抑制，靜電吸附以離子產生器抑制
由於劣化緩慢，須搭配持續監控運用
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