UX-1 系列是牛尾電機（USHIO）的光罩對準曝光機（一次曝光設備）。搭載自家的超高壓 UV 燈（500W～35kW），除 i・h・g 線外亦對應 Deep UV 波段。
以真空硬接觸曝光可解析線距 1µm，以 20µm 間隙的近接式曝光可解析 3µm。正面對準精度為 ±1µm，背面對準為 ±1.5µm。
曾用於 MEMS、石英振盪器、SAW・BAW 濾波器、RF 元件、IGBT 與 MOSFET 等功率半導體、LED 等。目前已停產，後繼機種推薦手動曝光機。
UX-1 系列的特點與規格
牛尾電機（USHIO）・光罩對準曝光機
除 ihg 線外亦對應 Deep UV 波段的牛尾電機（USHIO）光罩對準曝光機。搭載自家的超高壓 UV 燈。
產品概要
主要規格
| 曝光方式 | 光罩對準曝光機（一次曝光） |
|---|---|
| 光源 | 超高壓 UV 燈（ihg 線・Deep UV） |
| 解析度 | L/S 1 µm（真空硬接觸） |
| 銷售狀況 | 已停產（後繼機種推薦手動機） |
| 主要用途 | 化合物・功率・MEMS 等的圖案形成 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
自家製超高壓 UV 燈（i・h・g 線＋Deep UV）
以硬接觸達 L/S 1µm
正面 ±1µm・背面 ±1.5µm 的對準
停產品
主要用途
- MEMS・感測器
- SAW／BAW 濾波器・RF 元件
- 功率半導體・LED
製造商
牛尾電機（USHIO）（總部：日本）