ULTRAMIC 陶瓷加熱器的特點與規格

ULTRAMIC 是 Watlow 的先進陶瓷加熱器。以氮化鋁（AlN）製成，具有熱匹配的獨家發熱體。適合半導體製造設備等要求無汙染加熱與快速溫度變化的用途。

最高使用溫度依導線結構為 400°C 或 600°C。升溫速度依用途、加熱器設計與製程條件，最高每秒 150°C，最大瓦特密度為 155W/cm²。

可進行無汙染的潔淨加熱，幾何穩定性高，因此在加熱循環中也能維持一致的熱接觸。電氣絕緣性高，耐化學性優於傳統金屬加熱器。