ACM Research
半導体洗浄装置の米国メーカー。空間交互位相シフト（SAPS）と時間分解型（TEBO）のメガソニック技術で、微細パターンを壊さずに残渣を除去する枚葉洗浄装置を展開する。
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当サイトでの位置づけ
Semirai の洗浄カテゴリでは、独自のメガソニック方式でパターン倒壊を抑える枚葉洗浄装置メーカーとして位置づけられます。
企業の強み
SAPS/TEBOメガソニック洗浄の独自技術
高アスペクト比構造のパターン倒壊対策に強み
中国市場を軸に急成長
主要製品・ソリューション
洗浄装置
- •SAPS枚葉洗浄
- •TEBOメガソニック洗浄
- •バッチ洗浄
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