COMPANY DATABASE

アクリオンシステムズ(Akrion Systems)

ウェハ湿式洗浄装置の専業メーカー。バッチ式・枚葉式洗浄装置を中心に、半導体前工程の洗浄ニーズに対応する。

🌐 米国装置メーカー公式サイト

当サイトでの位置づけ

Semirai の洗浄装置カテゴリでは、ウェハ湿式洗浄装置の専業メーカーとして位置づけられます。

企業の強み

湿式洗浄装置の専業メーカー
バッチ式・枚葉式双方に対応
半導体前工程の洗浄技術に特化

主要製品・ソリューション

洗浄装置

  • バッチ式洗浄装置
  • 枚葉式洗浄装置

📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、アクリオンシステムズ(Akrion Systems)を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

枚葉式洗浄(シングルウェハ洗浄)とは →RCA洗浄とは →バッチ式洗浄(槽式洗浄)とは →

同じトピックの用語

ウェハ洗浄 のトピックで関連する用語です。

洗浄とは →ドライ洗浄(ケミカルドライクリーニング)とは →オゾン水洗浄とは →SPM洗浄(硫酸過酸化水素水洗浄)とは →DHF洗浄(希フッ酸洗浄)とは →メガソニック洗浄とは →二流体洗浄(二流体ジェット洗浄)とは →ブラシ洗浄(PVAスクラバ)とは →

同じトピックの企業

SCREENホールディングス日本東京エレクトロン(TEL)日本Lam Research米国ACM Research米国KCTech(ケーシーテック)韓国ステラケミファ日本

比較・違いを学ぶ

バッチ洗浄と枚葉洗浄の違い(半導体ウェハ洗浄方式比較)
バッチ洗浄は複数枚(25〜50枚)のウェハを薬液槽に一括浸漬して洗浄する方式で、スループットが高くコストが低いため成熟ノードで広く使われます。枚葉洗浄(Sing
メガソニック洗浄と二流体洗浄の違い
微細化が進むと、薬液の化学作用だけでは数十nmのパーティクルを剥がしきれなくなります。そこで必要になるのが物理的な補助力で、枚葉洗浄装置には音波を使うメガソニッ
アクリオンシステムズ(Akrion Systems) 公式サイトへ

FOR COMPANIES

貴社の情報をSemiraiに掲載しませんか?

無料プランからご利用いただけます。

掲載プランを見る →
← 企業一覧に戻る