SCREENホールディングス

本ポータルでは主に洗浄・表面処理を「前工程の再現性」を支える装置として位置づけ、露光・エッチング前後のウェハクリーニングや検査との接点に注目できます。

半導体洗浄装置の世界的リーダー。表面処理、ダイレクト描画、画像処理の3大コア技術で、ナノレベルの高精度加工を実現。

企業の強み

主要製品

洗浄装置

  • ウェーハ洗浄システム

塗布現像装置

  • コータ/デベロッパ

検査装置

  • 検査システム
  • 計測システム

関連装置カテゴリ

関連用語

公式サイト

https://www.screen.co.jp