SCREENホールディングス
本ポータルでは主に洗浄・表面処理を「前工程の再現性」を支える装置として位置づけ、露光・エッチング前後のウェハクリーニングや検査との接点に注目できます。
半導体洗浄装置の世界的リーダー。表面処理、ダイレクト描画、画像処理の3大コア技術で、ナノレベルの高精度加工を実現。
企業の強み
- ✓洗浄装置で世界トップシェア
- ✓表面処理、ダイレクト描画、画像処理の3大コア技術
- ✓ナノレベルの高精度処理技術
主要製品
洗浄装置
- ウェーハ洗浄システム
塗布現像装置
- コータ/デベロッパ
検査装置
- 検査システム
- 計測システム