第一機電
工業炉・結晶育成装置・高周波電源のメーカー。丸型チャンバーの CZ 法引上げ装置、溶液法装置、EFG 単結晶育成装置、多結晶シリコン凝固育成装置のほか、熱処理炉や溶解炉を製造し、他社製装置のメンテナンスにも対応する。
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当サイトでの位置づけ
Semirai のウェハ製造装置カテゴリでは、CZ 法の引上げ装置から EFG 法・溶液法まで、結晶育成装置を幅広く手がける工業炉メーカーとして位置づけられます。
企業の強み
CZ・EFG・溶液法など複数方式の結晶育成装置
工業炉と高周波電源の自社技術
他社製装置を含む修理・改善対応
主要製品・ソリューション
結晶育成装置
- •CZ法引上げ装置
- •EFG単結晶育成装置
- •溶液法装置
- •多結晶シリコン凝固育成装置
工業炉・電源
- •熱処理炉
- •溶解炉
- •高周波電源
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、第一機電を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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