特殊ガス・プロセスガスメーカー5社

産業ガス・特殊ガスの世界大手。半導体向けにはWF₆・NF₃・GeH₄・特殊エッチングガスなど、成膜・エッチング・クリーニングの全工程を支える。

• •半導体向け特殊ガスのグローバルトップサプライヤー
• •Fabオンサイト供給システムによる安定ガス供給

ドイツの特殊化学・製薬大手Merck KGaAの半導体材料部門。ALD前駆体・高誘電材料・フォトマスクブランクス・液晶など先端材料を供給。

• •ALD/CVD前駆体（High-k・メタルゲート材料）のグローバルリーダー
• •フォトマスクブランクスの主要サプライヤー

半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア（FOUP）・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。

• •半導体用CMPスラリー・研磨材料のグローバルトップ（CMC Materials統合後）
• •超純水・薬液フィルタで世界最高水準の汚染管理

フランスの産業ガス世界大手。半導体製造に使われる超高純度特殊ガス（フッ素・NF3・N2O・H2など）を供給。Lindeと並ぶ二大電子材料ガスメーカーの一角。

• •超高純度NF3（クリーニングガス）・フッ素・希少ガス供給で世界トップ
• •Air Products・Lindeと並ぶ産業ガス三強の一角

産業ガスを中核とする国内大手。窒素・酸素・水素などのバルクガスに加え、半導体プロセス向けの各種特殊ガスや、オンサイト供給設備・ガス供給配管システムを手掛ける。

• •バルクガスと特殊ガスの両方を供給
• •オンサイト発生設備によるファブ向け供給体制