大日本科研
露光装置メーカー。実験・研究用露光装置、LED・LD・パッケージング向けの化合物半導体用マスクアライナ、200/300mm 対応露光装置、マスクレス露光装置 MX シリーズ、MEMS 用・フィルム用・FPD 用露光装置を手がける。
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当サイトでの位置づけ
Semirai の露光装置カテゴリでは、化合物半導体用マスクアライナから MX シリーズのマスクレス露光装置までを持つ国内の露光装置メーカーとして位置づけられます。
企業の強み
マスクアライナとマスクレス露光の両方を自社開発
研究・小ロットから 300mm までの対応
MEMS・フィルム・FPD など基板別の露光装置
主要製品・ソリューション
半導体用露光装置
- •マスクレス露光装置 MXシリーズ
- •化合物半導体用マスクアライナ
- •200/300mm対応露光装置
その他露光装置
- •MEMS用露光装置
- •フィルム用露光装置
- •FPD用露光装置
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、大日本科研を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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