DCA Instruments
1989年創業のフィンランドの超高真空成膜装置メーカー。酸化物 MBE を強みに、III-V 族・窒化物向けの量産 MBE システム、PVD、パルスレーザー堆積装置を供給し、超伝導量子ビット用途の装置も納入している。
フィンランド・装置メーカー・公式サイト ↗
当サイトでの位置づけ
Semirai の成膜装置カテゴリでは、酸化物 MBE を得意とし、III-V・窒化物向けの量産 MBE も手がける超高真空成膜装置メーカーとして位置づけられます。
企業の強み
酸化物 MBE の技術力
III-V・窒化物向け量産 MBE システム
MBE・PVD・PLD を組み合わせた超高真空装置
主要製品・ソリューション
MBE装置
- •酸化物 MBE システム
- •III-V・窒化物用量産 MBE
超高真空成膜
- •PVD装置
- •パルスレーザー堆積装置
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、DCA Instrumentsを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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