当サイトでの位置づけ
レジストのキュアや有機物除去は、波長を選べる光源があって初めて成立します。Semirai の装置部品カテゴリでは、UV光源とオゾンの両方を持つ光応用メーカーとして位置づけられます。
企業の強み
HID・LED・UVを横断するランプ開発力
エキシマランプなど短波長光源を自社製造
光源と装置の両方を提案できる
主要製品・ソリューション
光源ユニット
- •UVランプ
- •エキシマランプ
- •水銀ランプ
光応用装置
- •紫外線照射装置
- •オゾン発生装置
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、岩崎電気を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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