光学系ユニット・UVランプメーカー5社
光学系ユニット・UVランプは、装置内で光を作り、整形し、必要な場所へ導くための部品群です。マスクアライナーやUVキュア装置では高圧水銀ランプが365nm（i線）を中心とした紫外光を供給し、検査装置ではレンズ・ミラー・照明光学系が分解能とコントラストを決めます。ランプは点灯時間とともに照度が落ちるため、照度モニタと連動した露光量制御が不可欠です。LED光源への置き換えが進み、瞬時点灯・長寿命・波長選択性という利点から採用が広がっています。
主要特徴
メーカー
5社の主要メーカー
産業用・半導体製造向け光源装置の日本大手。UV・DUV露光光源、ランプ式露光装置、UV硬化システムを手がける光技術の総合メーカー。
- •半導体露光用水銀ランプ・エキシマランプで国内トップ
- •UV硬化・表面処理向け光源の幅広いラインナップ
センサー・光半導体・LEDの世界的大手IDM。Austrian Micro Systems（ams）とOSRAMの合併企業。スマートフォン向け近接センサー・環境光センサー・3D深度センサー、自動車向けHD LEDを提供。Apple iPhone採用実績多数。
- •iPhone・Android向け光センサーで世界シェアトップ
- •自動車向けHD LEDヘッドライトで業界をリード
照明器具と光応用装置のメーカー。ランプ開発技術を核に、紫外線硬化・殺菌用のUV光源やエキシマランプ、オゾン発生装置を供給する。
- •HID・LED・UVを横断するランプ開発力
- •エキシマランプなど短波長光源を自社製造
レーザと光学機器の専門商社。海外メーカーのエキシマレーザや固体レーザ、計測・解析機器を国内の装置メーカーや研究機関へ供給する。
- •世界のレーザメーカーを横断した品揃え
- •計測から加工までアプリケーション提案
CMOSイメージセンサ検査用光源装置の世界トップメーカー（東証プライム上場）。センサの感度・欠陥検査に使う標準光源とシステムを供給する。
- •CIS検査用光源装置で世界トップシェア
- •光源からシステムまで自社設計
関連カテゴリ
エキシマレーザー発振器は、希ガスとハロゲンの混合ガスを放電励起して紫外光を出す光源です。
メーカー 3 社超音波・メガソニック振動子超音波・メガソニック振動子は、洗浄液に高周波の音波を与え、その物理力でウェハ表面のパーティクルを剥離させる部品です。
メーカー 2 社各種センサ・モータ各種センサ・モータは、装置の状態を検出し、機構を動かすための基礎部品です。
メーカー 6 社精密ステージ・干渉計精密ステージ・干渉計は、ウェハを保持して移動させ、その位置をnm精度で測定するユニットです。
メーカー 3 社除振システム除振システムは、床から伝わる振動や装置自身が出す振動を遮断し、精密ユニットを静かな環境に置くための機構です。
メーカー 4 社ウェハ搬送ロボット・ハンドリングウェハ搬送ロボット・ハンドリングシステムは、キャリアとプロセスチャンバの間でウェハを掴み、運び、置くための機構です。
メーカー 7 社