コガネイ

空気圧機器と電動アクチュエータのメーカー。半導体製造装置向けには、クリーン仕様のシリンダやバルブ、薬液用の流体制御部品を供給する。

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当サイトでの位置づけ

装置内の可動部はほとんどが空圧か電動アクチュエータで、その発塵量がチャンバの清浄度を左右します。Semirai の装置部品カテゴリでは、クリーン仕様の駆動・流体部品の供給元として位置づけられます。

企業の強み

空気圧機器と電動アクチュエータの両輪

クリーンルーム仕様品のラインナップ

静電気対策機器も自社で持つ

主要製品・ソリューション

空圧機器

•エアシリンダ
•電磁弁
•エアフィルタ

流体機器

•薬液用バルブ
•ディスペンス機器

駆動機器

•電動アクチュエータ

関連装置カテゴリ

装置部品（液・ガス用部品）

液・ガス用部品は、装置内で薬液・純水・ガスを運ぶバルブ・継手・チューブ・フィルタといった配管部品の総称です。

メーカー 9 社

半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、コガネイを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

パーティクル汚染（発塵管理）とは→ウェハ搬送・自動化とは→

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