当サイトでの位置づけ
装置内の可動部はほとんどが空圧か電動アクチュエータで、その発塵量がチャンバの清浄度を左右します。Semirai の装置部品カテゴリでは、クリーン仕様の駆動・流体部品の供給元として位置づけられます。
企業の強み
空気圧機器と電動アクチュエータの両輪
クリーンルーム仕様品のラインナップ
静電気対策機器も自社で持つ
主要製品・ソリューション
空圧機器
- •エアシリンダ
- •電磁弁
- •エアフィルタ
流体機器
- •薬液用バルブ
- •ディスペンス機器
駆動機器
- •電動アクチュエータ
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、コガネイを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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