液・ガス用部品（継手・チューブ）メーカー9社
液・ガス用部品は、装置内で薬液・純水・ガスを運ぶバルブ・継手・チューブ・フィルタといった配管部品の総称です。半導体用では耐圧や耐食性だけでなく、内面の平滑さ・デッドスペースの少なさ・溶出物の少なさが要求されます。液が滞留する隙間があればそこで菌やパーティクルが育ち、内面が荒れていれば粒子が剥離します。ガス系では電解研磨した継目無管とメタルシール継手で水分の吸着を抑え、薬液系ではフッ素樹脂で金属イオンの溶出を断つ、という材質の作り分けが基本です。
主要特徴
メーカー
9社の主要メーカー
超高純度対応のバルブ・継手・レギュレータを手掛ける流体制御機器メーカー。半導体プロセスガス向けのダイヤフラムバルブや、MFCを組み込んだガスボックス（ガスパネル）をユニットで供給する。
- •超高純度（UHP）流体制御機器の設計技術
- •ダイヤフラムバルブ・継手で高いシェア
総合バルブメーカーKITZグループの半導体向け専業会社。超高純度ガス用ダイヤフラムバルブ、腐食性ガス対応バルブ、真空・排気ライン用バルブを供給する。
- •半導体プロセスガス用バルブの専業
- •腐食性・毒性ガス対応の耐食設計
半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア（FOUP）・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。
- •半導体用CMPスラリー・研磨材料のグローバルトップ（CMC Materials統合後）
- •超純水・薬液フィルタで世界最高水準の汚染管理
ガス流量制御・圧力制御・RFパワー・プラズマ源など、半導体製造プロセスを支えるサブシステム機器の主要メーカー。Newport光学部門も保有。
- •マスフローコントローラ（MFC）でグローバルリーダー
- •RF電力供給・圧力制御・真空計測の統合ソリューション
半導体ウェハ搬送容器の専業メーカー。300mmウェハ用FOUP・FOSBを精密樹脂成形技術で製造し、ウェハの清浄度保持と搬送・出荷の標準化を支える。
- •FOUP・FOSBの精密樹脂成形技術
- •帯電防止・低アウトガス材料の設計
メカニカルシールの総合メーカー。回転軸の封止に加え、特殊ガスや薬液を扱う配管系向けのシール・バルブ部品を供給する。
- •メカニカルシールで国内最大手
- •自動車から航空宇宙まで幅広い実績
空気圧機器と電動アクチュエータのメーカー。半導体製造装置向けには、クリーン仕様のシリンダやバルブ、薬液用の流体制御部品を供給する。
- •空気圧機器と電動アクチュエータの両輪
- •クリーンルーム仕様品のラインナップ
薬液用のフィッティングと流体機器の総合メーカー。半導体製造装置の薬液配管に使うクイックカプラや流量センサ、ポンプを供給する。
- •薬液用フィッティングの専業メーカー
- •フッ素樹脂の成形技術
ステンレス製品の販売と加工を手掛ける。半導体向けにはEPパイプ・BAパイプなど内面処理を施した高純度配管材と継手を供給する。
- •EP・BAパイプなど高純度配管材の品揃え
- •切削・レーザ切断・溶接まで自社加工
関連カテゴリ
薬液ポンプ（ベローズポンプ）は、フッ酸や硫酸過水といった強腐食性の薬液を、金属汚染とパーティクルを持ち込まずに送液するポンプです。
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メーカー 3 社ディスペンサディスペンサは、接着剤・アンダーフィル材・封止樹脂などの高粘度液体を、指定した位置へ定量吐出する装置です。
メーカー 5 社Oリング・シールOリング・シールは、真空チャンバやガス配管の接合部を封止する弾性シール部品です。
メーカー 5 社オゾン水生成装置オゾン水生成装置は、高濃度のオゾンガスを超純水へ溶解させ、洗浄に使えるオゾン水を作る装置です。
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