幸和電熱計器
各種工業用ヒーターと加熱機器のメーカー。ウエハや基板を加熱するホットプレート、流体加熱器、液晶・半導体関連機器を製造するほか、膜厚測定装置や応力測定装置なども扱う。
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当サイトでの位置づけ
Semirai のリソグラフィ装置カテゴリでは、工業用ヒーターの技術を基にウエハ加熱用ホットプレートを製造する加熱機器メーカーとして位置づけられます。
企業の強み
工業用ヒーターを自社で設計・製造
ウエハ加熱向けホットプレート
膜厚・応力の測定装置も扱う
主要製品・ソリューション
加熱機器
- •ホットプレート
- •各種工業用ヒーター
- •流体加熱器
測定装置
- •膜厚測定装置
- •応力測定装置
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、幸和電熱計器を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
FOR COMPANIES
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