コーター/デベロッパ（Coater/Developer）は、フォトレジストのスピンコート（塗布）と露光後の現像（ディベロップ）を一体化したクラスターツールです。スキャナ（露光装置）とインライン接続され、レジスト塗布→露光→現像の一連のリソグラフィ工程を自動・高速処理します。コータ・デベロッパとも呼ばれます。
コート工程では、高速回転するウェハにレジスト液を滴下し、遠心力で数十〜数百nmの均一薄膜を形成します。塗布前にはHMDS（ヘキサメチルジシラザン）処理で密着性を向上させます。現像工程では、露光後ベーク（PEB）を経てTMAH（テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド）水溶液でレジストパターンを形成します。
主要装置メーカーは東京エレクトロン（TEL）のCLEANTRACKシリーズが世界市場の約80〜90%を占め、圧倒的なシェアを誇ります。EUV露光対応の高感度EUVレジスト処理や、SAQP（自己整合型四重パターニング）など多層プロセスへの対応が最新機種の主要課題です。
