当サイトでの位置づけ
露光や計測の解像度は、床から装置に伝わるわずかな振動で頭打ちになります。Semirai の装置部品カテゴリでは、その振動を切り離す除振システムの供給元として位置づけられます。
企業の強み
自動車用防振ゴムで培った振動制御技術
アクティブ・パッシブ両方の除振に対応
建築設備から精密機器まで横断した知見
主要製品・ソリューション
除振装置
- •アクティブ除振システム
- •空気ばね式除振台
防振部品
- •防振ゴム
- •防振マウント
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、倉敷化工を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
FOR COMPANIES
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