除振システムメーカー4社
除振システムは、床から伝わる振動や装置自身が出す振動を遮断し、精密ユニットを静かな環境に置くための機構です。空気ばねによるパッシブ除振で低周波の床振動を減衰させ、さらに加速度センサとアクチュエータで能動的に打ち消すアクティブ除振を組み合わせます。露光装置・電子顕微鏡・干渉計はいずれもnm級の分解能を持つため、数十nmの振幅でも像がぼやけ、測定値が振れます。装置単体だけでなく、ファブの床構造そのものが除振設計の対象になります。
主要特徴
メーカー
4社の主要メーカー
防振・除振を専門とする国内メーカー。空気ばね式やアクティブ制御式の除振装置、防振ゴムを供給し、露光装置や電子顕微鏡など振動に敏感な装置の設置環境を支える。
- •パッシブ・アクティブ両方式の除振装置
- •現地の振動測定から対策提案までの一貫対応
防振ゴムと除振装置を手掛けるメーカー。振動制御ブランド「KURATECA」のもとで、精密機器や半導体製造装置向けのアクティブ除振システムを供給する。
- •自動車用防振ゴムで培った振動制御技術
- •アクティブ・パッシブ両方の除振に対応
除振台・防振台と空気ばね、防音ボックスの専業メーカー。電子顕微鏡や露光装置など、微小振動を嫌う装置向けの据付環境をつくる。
- •除振・防振の専業メーカー
- •空気ばねを自社設計
オイルシールとOリングを主力とするシール専業メーカー。半導体製造装置向けには、プラズマ耐性やアウトガス特性を高めた真空シール材を供給する。
- •オイルシール・Oリングで国内トップシェア
- •ゴム材料の配合から自社で設計
関連カテゴリ
エキシマレーザー発振器は、希ガスとハロゲンの混合ガスを放電励起して紫外光を出す光源です。
メーカー 3 社超音波・メガソニック振動子超音波・メガソニック振動子は、洗浄液に高周波の音波を与え、その物理力でウェハ表面のパーティクルを剥離させる部品です。
メーカー 2 社光学系ユニット・UVランプ光学系ユニット・UVランプは、装置内で光を作り、整形し、必要な場所へ導くための部品群です。
メーカー 5 社各種センサ・モータ各種センサ・モータは、装置の状態を検出し、機構を動かすための基礎部品です。
メーカー 6 社精密ステージ・干渉計精密ステージ・干渉計は、ウェハを保持して移動させ、その位置をnm精度で測定するユニットです。
メーカー 3 社ウェハ搬送ロボット・ハンドリングウェハ搬送ロボット・ハンドリングシステムは、キャリアとプロセスチャンバの間でウェハを掴み、運び、置くための機構です。
メーカー 7 社