当サイトでの位置づけ
エッチングやCMPの再現性は、装置に供給される冷却水の温度がどれだけ揺れないかで決まります。Semirai の装置部品カテゴリでは、その温調を担うチラーの国内主要メーカーとして位置づけられます。
企業の強み
精密空調・チラーで国内有数の実績
真空ポンプとブロワも自社で持つ
圧縮空気の浄化・除湿まで一貫
主要製品・ソリューション
温調機
- •精密チラー
- •恒温水循環装置
真空機器
- •ドライ真空ポンプ
- •ブロワ
空気浄化
- •エアドライヤ
- •圧縮空気清浄機
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、オリオン機械を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
FOR COMPANIES
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