チラー・温調機メーカー3社
チラー・温調機は、冷媒や熱媒液を循環させて装置各部の温度を一定に保つユニットです。プラズマ処理中の静電チャックは投入電力で温度が上がり続けるため、チラーで熱を汲み出さなければウェハ温度が変動し、エッチングレートと選択比が振れてしまいます。要求される安定度は±0.1°C級で、しかも工程中の負荷変動に追従する応答性が必要です。露光装置の光学系やレジスト塗布のホットプレートなど、温度が寸法精度に直結する場所には必ずこのユニットが付きます。
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主要特徴
冷媒・熱媒液を循環させ装置各部の温度を一定に保つ
静電チャックの温度変動はエッチングレートと選択比を振らせる
±0.1°C級の安定度と負荷変動への応答性が要求される
露光光学系やホットプレートなど寸法精度に直結する箇所に必須
メーカー
3社の主要メーカー
Advanced Energy Industries米国
半導体製造装置向けRF電源・直流電源・マッチングネットワークの世界的リーダー。エッチング・CVD・PVDなどプラズマプロセス装置の電源ユニットで圧倒的なシェアを持つ。
RF電源
Ascent RF電源Navigator IIマッチングネットワーク
直流電源
Pinnacle DC電源Paramount DC電源
- •プラズマプロセス向けRF電源・マッチングネットワークで世界首位
- •エッチング・CVD・PVD装置のほぼ全てのアプリケーションをカバー
オリオン機械日本
精密温調機（チラー）と圧縮空気浄化機器、真空ポンプ・ブロワを手掛ける機械メーカー。半導体製造装置向けには高い温度安定性を持つ精密チラーを供給する。
温調機
精密チラー恒温水循環装置
真空機器
ドライ真空ポンプブロワ
空気浄化
エアドライヤ圧縮空気清浄機
- •精密空調・チラーで国内有数の実績
- •真空ポンプとブロワも自社で持つ
理化工業日本
温度調節器（温調計）を主力とするデジタル制御機器メーカー。多点調節計やプログラム調節計、電力調整器を組み合わせ、装置の温度制御系をまとめて構成できる。
温度調節器
デジタル温度調節計多点調節計プログラム調節計
制御機器
電力調整器記録計・指示計
- •温度調節器の専業メーカーとして国内トップクラス
- •多点・多ゾーン制御に強い
関連カテゴリ
薬液ポンプ（ベローズポンプ）
薬液ポンプ（ベローズポンプ）は、フッ酸や硫酸過水といった強腐食性の薬液を、金属汚染とパーティクルを持ち込まずに送液するポンプです。
メーカー 2 社ディスペンサディスペンサは、接着剤・アンダーフィル材・封止樹脂などの高粘度液体を、指定した位置へ定量吐出する装置です。
メーカー 5 社液・ガス用部品（継手・チューブ）液・ガス用部品は、装置内で薬液・純水・ガスを運ぶバルブ・継手・チューブ・フィルタといった配管部品の総称です。
メーカー 9 社Oリング・シールOリング・シールは、真空チャンバやガス配管の接合部を封止する弾性シール部品です。
メーカー 5 社オゾン水生成装置オゾン水生成装置は、高濃度のオゾンガスを超純水へ溶解させ、洗浄に使えるオゾン水を作る装置です。
メーカー 4 社