忍足研究所

空気と水のクリーン機器の専門メーカー。1965年に国産HEPAフィルタを開発し、1980年にULPAフィルタとスーパークリーンルーム用システム天井を超LSI工場向けに投入した。現在もULPA/HEPAフィルタ、ケミカルフィルタ、クリーンルーム用機器を製造販売する。

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当サイトでの位置づけ

Semirai のクリーンルーム設備カテゴリでは、国産HEPAフィルタを初めて開発し、ULPAフィルタとスーパークリーンルーム用天井システムを超LSI工場へ納めてきたフィルタメーカーとして位置づけられます。

企業の強み

国産HEPAフィルタ開発以来のフィルタ技術
ULPAフィルタとクリーンルーム天井システムの実績
ケミカルフィルタ・特殊フィルタまでの品揃え

主要製品・ソリューション

エアフィルタ

  • ULPAフィルタ
  • HEPAフィルタ
  • ケミカルフィルタ

クリーンルーム用製品

  • フィルタ天井システム
  • クリーンルーム用機器
半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、忍足研究所を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

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