COMPANY DATABASE
東京応化工業（TOK）
フォトレジスト専業の老舗メーカー。KrF〜ArF〜EUVと各世代のレジスト開発を継続し、現像液・洗浄剤などのプロセス薬品も手がける。
当サイトでの位置づけ
Semiraiの露光・レジスト材料カテゴリでは、KrF・ArF・EUV各世代のフォトレジストを一貫して開発し、国産レジスト技術を先端ノードに繋げてきた企業として参照されます。
企業の強み
フォトレジスト専業メーカーとして70年超の実績
KrF〜EUV全世代対応のレジスト開発力
現像液・剥離液・洗浄液の周辺プロセス材料も提供
主要製品・ソリューション
フォトレジスト
- •EUVレジスト
- •ArFiレジスト
- •KrFレジスト
プロセス薬品
- •TMAH現像液
- •剥離液
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ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、東京応化工業（TOK）を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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