東京応化工業(TOK)

フォトレジスト専業の老舗メーカー。KrF〜ArF〜EUVと各世代のレジスト開発を継続し、現像液・洗浄剤などのプロセス薬品も手がける。

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当サイトでの位置づけ

Semiraiの露光・レジスト材料カテゴリでは、KrF・ArF・EUV各世代のフォトレジストを一貫して開発し、国産レジスト技術を先端ノードに繋げてきた企業として参照されます。

企業の強み

フォトレジスト専業メーカーとして70年超の実績
KrF〜EUV全世代対応のレジスト開発力
現像液・剥離液・洗浄液の周辺プロセス材料も提供

主要製品・ソリューション

フォトレジスト

  • •EUVレジスト
  • •ArFiレジスト
  • •KrFレジスト

プロセス薬品

  • •TMAH現像液
  • •剥離液

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