メモリ・スピントロニクス / トランジスタ・集積デバイス
東北大学 遠藤研究室
STT-MRAM など磁気を使う不揮発性メモリを、素子から CMOS との集積、評価技術まで研究しています。国際集積エレクトロニクス研究開発センター（CIES）を拠点に、装置・材料メーカーとの産学共同研究を多く進めています。
01基本情報
- 大学
- 東北大学（宮城県）
- 所属
- 工学研究科／国際集積エレクトロニクス研究開発センター（CIES）
- 教員
- 遠藤 哲郎 教授
- 分野
- メモリ・スピントロニクス・トランジスタ・集積デバイス
02研究テーマ
研究室の公式サイト・大学の公開資料に挙げられているテーマです。
- STT-MRAM の素子と集積
- MTJ 素子と CMOS の集積プロセス
- MRAM の評価・測定技術
03この研究室に関わる技術
用語集で仕組みと用途を解説しています。
04企業との共同研究
大学・企業の公式発表や研究室の公式サイトに明記された共同研究です。
- 東京エレクトロン（TEL）
- STT-MRAM の低ダメージ加工プロセスと 300mm プロセス統合を共同開発し、IEDM 2018 で発表（根拠）
05成果を発表している学会
06同じ分野の研究室
研究室一覧 →07出典
2026/10/24 確認。教員の異動や研究室名の変更があるため、最新の情報は公式サイトで確認してください。