Eagle AEROとは
Eagle AERO は、ASMPT のボールボンダーです。特許の X-Power 熱超音波ボンディング技術と、X・Y 方向の2周波に対応するトランスデューサ Aeroducer を組み合わせています。
一般的な銅ワイヤの用途で UPH(時間あたり生産数)を最大 30% 高め、ボンディングしたボール径を 22µm まで小さくできます(30µm まで適用可能)。毎秒最大 24 本の 2mm ワイヤ接続を行い、ボンディング精度は 2.0µm @3σ です。
管理ソフトウェア AeroEye は、ファーストボンド前の高さ確認からテールボンドの切り離しまで、ボンディング工程のすべてのサブステップで精度を測り、性能と品質を監視します。ハイエンド IC の用途、とくに CMOS イメージセンサーのワイヤボンディングや先端パッケージに向いています。
主な特長
- •X-Power 熱超音波ボンディングと 2 周波 Aeroducer
- •Cu ワイヤで UPH 最大 30% 向上
- •ボール径 22µm、ボンディング精度 2.0µm @3σ
- •AeroEye による工程監視
主な仕様
| 方式 | ボールボンディング(熱超音波) |
|---|---|
| ボンディング精度 | 2.0 µm @3σ |
| ボール径 | 22 µm まで |
| 特徴 | Cu ワイヤで UPH 最大 30% 向上、AeroEye による品質監視 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | Kulicke & SoffaIConnPS ProCu(ボールボンダー) | ASMPTEagle AERO(ボールボンダー) |
|---|---|---|
| 方式 | ボールボンディング(Cu ワイヤ) | ボールボンディング(熱超音波) |
| 特徴 | 最適化したガス供給系・ProCuBond/ProCuSSB プロセス | Cu ワイヤで UPH 最大 30% 向上、AeroEye による品質監視 |
1機種だけが掲載している項目(4件)
| 関連機種 | RAPID Pro(GEN-S シリーズ) | — |
|---|---|---|
| 主要用途 | Cu ワイヤによるワイヤボンディング | — |
| ボンディング精度 | — | 2.0 µm @3σ |
| ボール径 | — | 22 µm まで |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •CMOS イメージセンサーのワイヤボンディング
- •ハイエンド IC・先端パッケージ
掲載カテゴリ
Eagle AEROは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
ワイヤボンダーのほかの製品
ASMPTのほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日:2026-10-06