ワイヤボンディングとは

Wire Bonding

最終更新:2026-10-03・ワイヤボンダー・ボンディングワイヤ|用語集のExcel・PDF版をダウンロード

ワイヤボンディングとは?

ワイヤボンディングとは、半導体チップの電極とリードフレームやパッケージ基板の端子を、直径15〜50μm程度の金・銅などの細い金属ワイヤでつなぐ後工程の接続技術です。キャピラリでボールを作って接合するボールボンディングと、アルミ線を超音波で接合するウェッジボンディングがあり、現在も出荷パッケージの大半がこの方式で接続されています。

定義・解説

ワイヤボンディングとは、半導体チップの電極パッドと、リードフレームやパッケージ基板の端子とを、細い金属ワイヤでつなぐ接続工程です。ワイヤの直径は一般的なICで15〜50μm程度、パワー半導体向けのアルミ線では数百μmに達します。1960年代から使われている実装技術で、フリップチップなどの新しい接続方式が広がった現在も、出荷される半導体パッケージの大半がこの方式で接続されています。接続を行う装置はワイヤボンダーと呼びます。

主な方式はボールボンディングとウェッジボンディングです。ボールボンディングでは、キャピラリという工具の先から出したワイヤの先端を放電で溶かして小さなボールを作り、熱・荷重・超音波を加えてチップのパッドに接合します(ファーストボンド)。続いてワイヤを繰り出しながらループを描いてリード側へ移動し、ワイヤを押しつぶすように接合して切断します(セカンドボンド、ステッチボンド)。この動作を1本あたり0.1秒以下で繰り返します。ウェッジボンディングは、ボールを作らずにウェッジツールでワイヤを押し付けて超音波で接合する方式で、室温で接合でき、太いアルミ線を使うパワー半導体で広く使われます。ワイヤの材料は、長く標準だった金(Au)から、コストを下げるための銅(Cu)やパラジウム被覆銅線、銀合金線への置き換えが進んでいます。

品質は、ワイヤを引っ張って強度を測るワイヤプル試験や、ボールを横から押して剥がすボールシェア試験で確認します。ループの高さと形も重要で、低すぎるとチップの端に触れ、長すぎるとモールド時に樹脂に押されて変形するワイヤスイープで隣のワイヤと短絡します。フリップチップと比べると、配線が長くインダクタンスが大きいことや、電極をチップの周辺にしか置けないことから、多ピン・高速の先端ロジックには不向きです。一方で低コストで設計の自由度が高く、メモリの多段積層、センサ、パワー半導体、車載ICなどで今も主流の接続方法です。

よくある質問(FAQ)

ワイヤボンディングとフリップチップの違いは何ですか?▾
ワイヤボンディングはチップを上向きに置き、周辺の電極を細いワイヤで外部端子につなぎます。フリップチップはチップを裏返し、表面全体に並べたバンプで基板と直接接合します。フリップチップは配線が短く多ピン・高速に向きますが、コストが高く、ワイヤボンディングは低コストで幅広い製品に使われます。
ワイヤボンディングにはどのような金属が使われますか?▾
ボールボンディングでは長く金線が標準でしたが、金価格の高騰を受けて銅線やパラジウム被覆銅線、銀合金線への置き換えが進んでいます。ウェッジボンディングではアルミ線が主に使われ、大電流を流すパワー半導体では直径数百μmのアルミ太線や銅線、リボン状のワイヤも使われます。

設備の製造メーカー

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ASMPT香港

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新川日本

日本を代表するワイヤーボンディング装置メーカー。高精度・高速ボンディング技術で、パワー半導体やLEDパッケージ…

カイジョー日本

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田中貴金属工業(Tanaka Precious Metals)日本

金・銀・白金族金属(プラチナ・ルテニウム・イリジウム・パラジウム)の精製・加工・リサイクルの日本最大手。半導体…

日鉄マイクロメタル日本

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