最終更新 2026-10-09

ボールボンディングとは

Ball Bonding
目次8項目
  1. 定義・解説
  2. 製造工程フローでの位置
  3. 図解
  4. 設備の製造メーカー
  5. 関連する製品
  6. 関連用語
  7. 比較・違いを学ぶ
  8. 出典・参考資料

定義・解説

ボールボンディング(Ball Bonding)は、ワイヤボンディングの代表的な方式で、金線(またはアルミ・銅線)の先端を放電(EFO:Electric Flame-Off)で溶融させて球状のボールを形成し、超音波と加圧・熱を併用してチップの電極パッドに接合する技術である。その後ワイヤをループさせ、リードフレームまたは基板側にウェッジ接合(2ndボンド)して1本のワイヤ接続が完成する。

ボールを介した接合は接触面積を確保しやすく、機械的強度と電気的接続の信頼性が高いことから、民生機器・スマートフォン・ICパッケージ全般で最も広く使われているワイヤボンディング方式である。ワイヤ材料は従来の金線から、コスト低減を目的とした銅線・パラジウム被覆銅線(PCC)への置き換えが進んでいる。

装置面では毎秒10本以上の高速ボンディングが可能な自動ボールボンダーが量産ラインの標準であり、ワイヤ径は数十μm程度と極めて細い。ウェッジボンディングがアルミ線を使い水平方向に接合するのに対し、ボールボンディングは金・銅線を使い、より微細なパッドピッチ・高密度な多ピン接続に適している。

主要装置メーカーはKulicke & Soffa(K&S)・ASMPT・新川(Shinkawa)などで、車載・パワー半導体向けの太線ボンディングから、先端ロジックの微細ピッチ多ピンボンディングまで幅広い装置ラインナップが提供されている。

製造工程フローでの位置

ボールボンディングは全21ステップのうち STEP 19 にあたります(青枠)。

前工程(ウェハプロセス)後工程(組立・実装・テスト)01シリコンウェハの準備02エピタキシャル成長03↻洗浄04熱酸化05↻成膜06↻レジスト塗布07↻露光(リソグラフィ)08↻エッチング09↻アッシング(レジスト除去)10イオン注入11アニール(活性化熱処理)12↻CMP(平坦化)13↻配線形成(ダマシン)14↻ウェハ検査・計測15ウェハテスト(プロービング)16ウェハ薄化(裏面研削)17ダイシング18ダイボンディング19ワイヤボンディング20モールディング(封止)21最終テスト
↻ は配線などの層の数だけ繰り返す工程です。各工程をクリックすると用語解説へ進みます。

図解

ボールボンディングの手順(ボール形成・1stボンド・ループ・2ndボンド・カット)
ワイヤボンディングの代表的な方式。

この用語を扱う職種

後工程(実装・テスト)組立工程エンジニア(アセンブリ)

設備の製造メーカー

この用語に関連する製品

型番は各社の公式製品ページで確認したものです。出典のリンクは各製品ページに載せています。

IConnPS ProCuKulicke & Soffa・ワイヤボンダー
Eagle AEROASMPT・ワイヤボンダー

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出典・参考資料

  1. Kulicke & Soffa「IConnPS ProCu 製品ページ」(2026/10/07 確認)