Super 300 タイプ ピラーフィッティング™
スリーブ部品で低い締付力でもシールできる PILLAR のフッ素樹脂継手。半導体洗浄装置向けで高いシェアを持つ。
Super 300 タイプ ピラーフィッティングとは
Super 300 タイプ ピラーフィッティングは、日本ピラー工業のフッ素樹脂製の管継手です。スリーブ部品を使うことで、小さな締め付け力でもシールできます。
最高 200℃、液体で最高 0.7MPa まで使え、サイズは Φ3〜Φ25、1/8"〜1-1/2" です。半導体洗浄装置の薬液配管で高いシェアを持ちます。
主な特長
- •フッ素樹脂製
- •低い締付力でシール
- •最高 200℃・0.7MPa
主な仕様
| 材質 | フッ素樹脂 |
|---|---|
| 使用条件 | 最高 200 ℃・最高 0.7 MPa（液体） |
| 対応サイズ | Φ3 ～ Φ25・1/8" ～ 1-1/2" |
| 主要用途 | 半導体洗浄装置の薬液配管 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | PILLAR（旧日本ピラー工業）Super 300 タイプ ピラーフィッティング™ | 山本特殊鋼EP 管／BA 管（継目無ステンレス鋼管） | テクノフレックスフレキシブル継手・真空配管用継手 |
|---|---|---|---|
| 材質 | フッ素樹脂 | 継目無ステンレス鋼管 | ステンレス・フッ素樹脂・シリコーンゴム |
| 主要用途 | 半導体洗浄装置の薬液配管 | 半導体製造装置のガス配管 | 製造装置・真空ポンプラインの配管 |
| 使用条件 | 最高 200 ℃・最高 0.7 MPa（液体） | 内面粗度 EP：Ry≦0.5 µm／BA：Ry≦3.0 µm | — |
| 対応サイズ | Φ3 ～ Φ25・1/8" ～ 1-1/2" | — | 6A ～ 400A（450A 以上も可） |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •半導体洗浄装置の薬液配管
掲載カテゴリ
Super 300 タイプ ピラーフィッティングは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
PILLAR（旧日本ピラー工業）
グランドパッキンやガスケットなどのシール製品から始まった流体制御機器メーカー。半導体分野では高純度薬液や超純水のラインに使うフッ素樹脂製の継手を供給する。免震装置や、ポンプ・撹拌機など回転機器のメンテナンスも手がける。
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07