レガシー装置の再生・改造企業15社
レガシー装置の再生・改造は、150mm・200mmウェハ向けに作られ、すでに生産終了した旧型機を再び使える状態に戻し、必要に応じて機能を追加する仕事です。パワー半導体やMEMS、化合物半導体のラインでは、新品では手に入らない口径や処理方式の装置が今も求められています。古い制御系やソフトウェアを新しいものに置き換えて保守部品の枯渇に備える改造や、生産終了した装置ブランドを引き継いで再製造する事業者もいます。
主要特徴
よくある質問
200mm装置が中古で取引される理由は？▾
企業
15社の主要企業
EUV露光装置の唯一のグローバルサプライヤー。極紫外光リソグラフィ技術でムーアの法則を延命させ、5nm以下の先端プロセスに不可欠。
- •EUV露光装置の唯一のグローバルサプライヤー
- •High-NA EUVで8nmの解像度を実現
半導体検査・計測装置の世界的リーダー。AI駆動の欠陥検出と先進データ分析により、歩留まり向上とプロセス開発を加速。
- •検査・計測装置における世界的リーダー
- •AI・データ分析を統合した先端プロセスコントロール
エッチング装置の世界的リーダー。約39%の市場シェアを持ち、原子層エッチング（ALE）技術で先端3Dチップアーキテクチャを支える。
- •エッチング装置で世界シェア約39%のトップポジション
- •原子層エッチング（ALE）技術における技術リーダーシップ
中古の電子デバイス製造装置（部品・ソフトウェアを含む）の売買・保守・再生・改造と、電子デバイス製造装置の輸入代理販売を行う技術系商社。2014年設立。制御系のリフレッシュなど老朽化した装置の延命や、電子デバイス工場での装置の移設・廃棄工事の請負も手掛ける。
- •中古装置の売買と買取査定
- •制御系リフレッシュなど老朽装置の延命・改造
米国のCMP装置専業メーカー。OnTrak系の洗浄装置、AMATのMirra・Reflexion、IPEC 472、Strasbaugh製などの研磨装置を再生するほか、新型洗浄装置OnTrak DSS-200の製造と、CMPの受託加工（ファウンドリ）を行う。
- •旧型CMP装置・洗浄装置の再生
- •新型洗浄装置OnTrak DSS-200の製造
ウェット処理装置とコータ・デベロッパの新品・再製造品を供給する米国企業。SEMITOOL、Rite Track、FSI MERCURYなどのブランドを持ち、バッチスプレー洗浄装置、スピンリンスドライヤー、SVG系やTEL MARK・ACT系トラックの再製造を150mm〜300mm向けに扱う。
- •生産終了ブランドの引き継ぎと再製造
- •150mm〜300mmのトラック再製造
米カリフォルニア州ロックリンの装置再生会社。スピンリンスドライヤーを中心に、ウェットベンチ・ウェハスクラバ・マスク洗浄機・マスクアライナ・膜厚計などの新品・再生品を供給し、Semitool・Verteqなどのスピンリンスドライヤーの部品供給と保守を行う。
- •スピンリンスドライヤーの再生と部品供給
- •ウェット系・計測系装置の再生品
中古半導体製造装置の販売と、装置・部品の修理・メンテナンス、移設・立ち上げ・解体作業を行う。装置メーカー純正品・中古品・新規製作品の消耗部品を販売し、ロボット・制御ユニット・インバータ・モーター・ポンプの修理や予防保全、エンジニア派遣・保守請負も手掛ける。
- •中古装置の販売と在籍エンジニアによる物件査察
- •装置の修理・改造と移設・立ち上げ・解体
ウエハ表面異物検査装置「WiN」シリーズや光学式顕微鏡などの自社製品と、中古のKLA-Tencor製品や露光・塗布現像装置の再生販売、保守サービスを行う。
- •中古KLA-Tencor製品の再生販売
- •露光・塗布現像装置の中古再生
2002年設立。ウルトラテック社製ステッパーを中心に、露光装置のメンテナンス、中古装置の売買、関連部品の販売を行う。
- •ウルトラテック製ステッパーの保守
- •中古露光装置の売買
KLA-Tencor製を中心とする半導体検査装置のメンテナンス、移設・設置・立ち上げ、中古半導体検査装置の売却支援、中古パーツの販売を行う。
- •KLA-Tencor製検査装置のメンテナンス
- •検査装置の移設・設置・立ち上げ
米テキサス州の中古・再整備・再生半導体装置の販売会社。装置の買取、検査・評価、部品交換プログラム、特殊ウェハの加工も行う。
- •中古・再整備装置の販売
- •装置の検査・評価
米ニュージャージー州の装置再生会社。キヤノン製のウェハ露光装置（ステッパー）とKLA製の電子線計測装置（CD-SEM）の再生・再設計を専門とし、据付・立ち上げ、部品供給、技術サポートを行う。
- •キヤノン製ステッパーの再生
- •KLA製CD-SEMの再生
ウルトラテック製ステッパーの再生品と部品を供給する米国企業。中古ステッパーの買取・販売（1年の部品保証付き）、900〜1900シリーズの新品・再生・交換部品、据付・修理・移設のフィールドサービスを行い、装置メーカーのサポートが終了した機種にも対応する。
- •ウルトラテック製ステッパーの再生品
- •サポート終了機種の部品供給
米国の計測・検査装置の再生会社。KLA-Tencor・Prometrix製の計測・検査装置と、ブルックス製のロボット・アライナの再生、部品供給、修理を行う。
- •計測・検査装置の再生
- •KLA-Tencor・Prometrix製装置の部品供給
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