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中古CMP装置企業8社

中古のCMP装置は、ウェーハ表面を化学的・機械的に研磨して平坦にする装置で、成熟ノードのラインの増設や、旧型機の更新で探されます。研磨ヘッドとプラテンの数、研磨対象が酸化膜か金属か、研磨後の洗浄ユニットが一体か別置きかで、構成と設置条件が変わります。中古では、研磨ヘッドやパッドコンディショナなど消耗部品の入手性、スラリーの供給と排水の設備条件、終点検出の方式と動作を確認します。旧型機の再生を専門にする業者もあります。

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主要特徴

成熟ノードのラインの増設や旧型機の更新で需要がある
ヘッド・プラテン数と研磨対象(酸化膜・金属)で構成が違う
研磨後洗浄ユニットが一体か別置きかを確認する
スラリー供給・排水の設備条件と消耗部品の入手性が重要

中古で買うときの確認ポイント

  1. 研磨対象(酸化膜・金属)と、ヘッド・プラテンの数
  2. 研磨後洗浄(ポストCMP洗浄)ユニットが一体か別置きか
  3. スラリー供給・排水の設備条件
  4. 研磨ヘッド・パッドコンディショナなどの消耗部品の入手性
  5. 終点検出の方式と動作の確認

価格や在庫は各社へお問い合わせください。当サイトでは価格・在庫を掲載していません。

新品のCMP装置:酸化膜CMP装置 →金属CMP装置 →

よくある質問

中古のCMP装置を設置するには何が必要ですか?▾
スラリーの供給設備、研磨後の排水処理、純水、電源と排気です。研磨後洗浄ユニットが別置きの機種では、その装置も合わせて用意する必要があります。
旧型のCMP装置は今でも使えますか?▾
200mmラインなどでは旧型機が今も使われています。再生業者が整備・改造した装置や、消耗部品・アップグレードを提供するサービスもあるため、部品の供給元を確保できれば長く使えます。

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企業

8社の主要企業

トラストテクノロジー日本

2004年設立。中古半導体製造装置・液晶パネル製造装置・工作機械・産業機械の販売と、中古製造装置の買取・査定・売却を行う。

中古装置
半導体製造装置液晶パネル製造装置
サービス
買取・査定売却支援
  • •中古半導体製造装置の販売
  • •中古装置の買取・査定・売却
会社詳細
インターテック・スクエアード日本

中古の電子デバイス製造装置(部品・ソフトウェアを含む)の売買・保守・再生・改造と、電子デバイス製造装置の輸入代理販売を行う技術系商社。2014年設立。制御系のリフレッシュなど老朽化した装置の延命や、電子デバイス工場での装置の移設・廃棄工事の請負も手掛ける。

中古装置
売買・買取査定再生・改造
工事
装置移設撤去・廃棄
  • •中古装置の売買と買取査定
  • •制御系リフレッシュなど老朽装置の延命・改造
会社詳細
ナノ・ソルテック日本

ウエハ表面異物検査装置「WiN」シリーズや光学式顕微鏡などの自社製品と、中古のKLA-Tencor製品や露光・塗布現像装置の再生販売、保守サービスを行う。

中古再生装置
KLA-Tencor製検査装置露光・塗布現像装置
自社製品
ウエハ表面異物検査装置 WiNシリーズ
サービス
保守
  • •中古KLA-Tencor製品の再生販売
  • •露光・塗布現像装置の中古再生
会社詳細
SurplusGLOBAL韓国

韓国・龍仁市に本拠を置く中古半導体製造装置の専門商社。前工程・後工程・ディスプレイ装置の売買と委託販売、コンサルティングを行い、部品・装置のオンラインプラットフォーム「SemiMarket」を運営する。装置の撤去・除染・再生・仕様変更や物流・輸出管理のサービスも提供する。

中古装置
売買委託販売オークション
技術サービス
撤去・除染再生・仕様変更物流・輸出管理
  • •前工程・後工程・ディスプレイ装置の売買と委託販売
  • •オンラインプラットフォーム「SemiMarket」
会社詳細
SDI Fabsurplusイタリア

イタリアの中古半導体製造装置の販売会社。前工程・組立・テスト・SMT・FPDなどの中古装置をオンラインで売買するマーケットプレイスを運営し、半導体・FPD・太陽電池の生産ラインや工場一式の売却も扱う。

中古装置
前工程装置組立・テスト装置SMT装置
工場売却
生産ライン一式
  • •前工程から組立・テストまでの中古装置の品揃え
  • •オンラインマーケットプレイスの運営
会社詳細
CAE米国

1982年創業。半導体装置を中心とする中古産業機器・ラボ機器のオンラインマーケットプレイスを運営し、資産の調達、出荷前の監査、物流、決済までを担う。IDM・ファウンドリ・装置メーカー・研究機関・再生業者と取引する。

マーケットプレイス
中古半導体装置中古ラボ機器
サービス
資産調達監査物流
  • •半導体装置中心のオンラインマーケットプレイス
  • •出荷資産の監査
会社詳細
GES Associates米国

米アリゾナ州フェニックスの中古半導体製造装置・スペアパーツの供給会社(GESemi)。装置の販売・再生・据付・立ち上げ・トレーニング・保証と委託販売を行い、エンドユーザーや装置メーカーに余剰装置を市場価格で回収する手段を提供する。

中古装置
販売委託販売再生
サービス
据付・立ち上げトレーニング保証
  • •余剰装置の委託販売と回収
  • •再生から据付・立ち上げまでの対応
会社詳細
Entrepix米国

米国のCMP装置専業メーカー。OnTrak系の洗浄装置、AMATのMirra・Reflexion、IPEC 472、Strasbaugh製などの研磨装置を再生するほか、新型洗浄装置OnTrak DSS-200の製造と、CMPの受託加工(ファウンドリ)を行う。

再生装置
AMAT Mirra・ReflexionIPEC 472OnTrak洗浄装置
新造装置
OnTrak DSS-200
受託
CMP受託加工
  • •旧型CMP装置・洗浄装置の再生
  • •新型洗浄装置OnTrak DSS-200の製造
会社詳細

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中古のワイヤーボンダーは、チップの電極とリードフレームや基板を細い金属線でつなぐ装置で、後工程の増設、パワーデバイスやセンサーのパッケージング、研究開発の試作で探されます。

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