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中古エッチング装置企業11社

中古のエッチング装置は、成熟ノードのラインの増設、MEMSや化合物半導体の加工、研究開発で探されます。プラズマで削るドライエッチング(RIE・ICPなど)と、薬液で溶かすウェットエッチングでは装置の構成も設置条件もまったく違います。ドライエッチング装置では、RF電源・整合器・静電チャックの状態、フォーカスリングなどチャンバー消耗部品の予備、終点検出器の有無、使用ガスと排ガス処理の条件を確認します。前工程で使うなら、以前にエッチングしていた材料による金属汚染にも注意が要ります。

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主要特徴

成熟ノードの増設、MEMS・化合物半導体、研究開発で需要がある
ドライ(RIE・ICP)とウェットで構成と設置条件がまったく違う
RF電源・整合器・静電チャックとチャンバー消耗部品を確認する
使用ガス・排ガス処理と、以前の材料による汚染に注意する

中古で買うときの確認ポイント

  1. 方式(RIE・ICP・ウェット)と、エッチングしていた材料
  2. 使用ガス・薬液と、排気・排ガス処理の条件
  3. RF電源・整合器・静電チャックの状態
  4. フォーカスリングなどチャンバー消耗部品の予備と入手性
  5. 終点検出器の有無とレシピの引き継ぎ可否
  6. 前工程の汚染管理(金属汚染)の基準に合うか

価格や在庫は各社へお問い合わせください。当サイトでは価格・在庫を掲載していません。

新品のエッチング装置:ドライエッチング装置 →ウェットエッチング装置 →

よくある質問

研究用の小型RIE装置も中古で手に入りますか?▾
手に入ります。研究用の平行平板型RIEやプラズマ処理装置は、中古装置を扱う業者の在庫でよく見られます。使いたいガスが装置で使えるか、排気と除害の設備が用意できるかを先に確認してください。
中古のエッチング装置で消耗部品はなぜ重要ですか?▾
フォーカスリングや電極などのチャンバー部品はプラズマで少しずつ削られ、定期的な交換が必要です。旧型機では純正部品の供給が終わっていることもあるため、互換品を含めて入手できるかが長く使えるかどうかを決めます。

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企業

11社の主要企業

トラストテクノロジー日本

2004年設立。中古半導体製造装置・液晶パネル製造装置・工作機械・産業機械の販売と、中古製造装置の買取・査定・売却を行う。

中古装置
半導体製造装置液晶パネル製造装置
サービス
買取・査定売却支援
  • •中古半導体製造装置の販売
  • •中古装置の買取・査定・売却
会社詳細
グリーンテック日本

1984年設立の真空機器の専門会社。中古の真空機器・装置の販売とレンタル、装置の改造・移設、海外メーカー製装置のメンテナンスを行う。電流導入端子・スパッタ源・超高真空覗き窓・真空フランジ配管部品などの真空部品も扱う。

中古真空機器
販売レンタル
真空部品
電流導入端子スパッタ源超高真空覗き窓
  • •中古真空機器の販売とレンタル
  • •装置の改造・移設
会社詳細
アイアールシー日本

真空ポンプ・真空機器、半導体装置、分析機器、電気計測器などの中古機の買取・販売を行う。ターボ分子ポンプのオーバーホール・修理、マスフローコントローラの販売、真空・ガス配管の施工、クリーンルームの設計・施工も手掛ける。

中古機器
真空ポンプ・真空機器半導体装置分析機器電気計測器
サービス
ポンプのオーバーホール真空・ガス配管施工
  • •真空機器・半導体装置・分析機器の中古品
  • •ターボ分子ポンプのオーバーホール・修理
会社詳細
中古機械買取販売日本

2013年設立。真空機器・真空ポンプ・電気計測器・半導体関連装置などハイテク分野の中古機器の買取・販売を行い、中古機器を探せるサイト「中古機械買取販売市場」を運営する。

中古機器
真空機器・真空ポンプ電気計測器半導体関連装置
  • •ハイテク分野の中古機器に特化
  • •真空機器・電気計測器の品揃え
会社詳細
未来産業技術研究所(プロダクトアイ)日本

2018年設立。真空ポンプ・真空装置・部品・半導体装置などの中古機の買取・販売、中古産業ロボットの買取・販売と企画・設計・ソフト開発、工場設備の移設・移転を行う。

中古機器
真空ポンプ・真空装置半導体装置産業ロボット
サービス
工場設備の移設・移転
  • •真空装置・半導体装置の中古品売買
  • •中古産業ロボットの販売と再設計
会社詳細
ナノ・ソルテック日本

ウエハ表面異物検査装置「WiN」シリーズや光学式顕微鏡などの自社製品と、中古のKLA-Tencor製品や露光・塗布現像装置の再生販売、保守サービスを行う。

中古再生装置
KLA-Tencor製検査装置露光・塗布現像装置
自社製品
ウエハ表面異物検査装置 WiNシリーズ
サービス
保守
  • •中古KLA-Tencor製品の再生販売
  • •露光・塗布現像装置の中古再生
会社詳細
SurplusGLOBAL韓国

韓国・龍仁市に本拠を置く中古半導体製造装置の専門商社。前工程・後工程・ディスプレイ装置の売買と委託販売、コンサルティングを行い、部品・装置のオンラインプラットフォーム「SemiMarket」を運営する。装置の撤去・除染・再生・仕様変更や物流・輸出管理のサービスも提供する。

中古装置
売買委託販売オークション
技術サービス
撤去・除染再生・仕様変更物流・輸出管理
  • •前工程・後工程・ディスプレイ装置の売買と委託販売
  • •オンラインプラットフォーム「SemiMarket」
会社詳細
SDI Fabsurplusイタリア

イタリアの中古半導体製造装置の販売会社。前工程・組立・テスト・SMT・FPDなどの中古装置をオンラインで売買するマーケットプレイスを運営し、半導体・FPD・太陽電池の生産ラインや工場一式の売却も扱う。

中古装置
前工程装置組立・テスト装置SMT装置
工場売却
生産ライン一式
  • •前工程から組立・テストまでの中古装置の品揃え
  • •オンラインマーケットプレイスの運営
会社詳細
CAE米国

1982年創業。半導体装置を中心とする中古産業機器・ラボ機器のオンラインマーケットプレイスを運営し、資産の調達、出荷前の監査、物流、決済までを担う。IDM・ファウンドリ・装置メーカー・研究機関・再生業者と取引する。

マーケットプレイス
中古半導体装置中古ラボ機器
サービス
資産調達監査物流
  • •半導体装置中心のオンラインマーケットプレイス
  • •出荷資産の監査
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GES Associates米国

米アリゾナ州フェニックスの中古半導体製造装置・スペアパーツの供給会社(GESemi)。装置の販売・再生・据付・立ち上げ・トレーニング・保証と委託販売を行い、エンドユーザーや装置メーカーに余剰装置を市場価格で回収する手段を提供する。

中古装置
販売委託販売再生
サービス
据付・立ち上げトレーニング保証
  • •余剰装置の委託販売と回収
  • •再生から据付・立ち上げまでの対応
会社詳細
Bid Service米国

米ニュージャージー州の中古・再生半導体装置とラボ機器の販売会社。電子製造装置、科学計測機器、分析機器、試験装置を扱う。

中古装置
半導体装置電子製造装置
計測・分析
科学計測機器分析機器試験装置
  • •中古・再生半導体装置の供給
  • •ラボ機器・分析機器の品揃え
会社詳細

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中古のワイヤーボンダーは、チップの電極とリードフレームや基板を細い金属線でつなぐ装置で、後工程の増設、パワーデバイスやセンサーのパッケージング、研究開発の試作で探されます。

企業 10 社

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