中古半導体製造装置とは、半導体メーカーの工場閉鎖・設備更新・事業撤退などで使われなくなった製造装置を、整備・再生して別の工場で再び使うために売買される装置のこと。露光・成膜・エッチング・洗浄・検査・テストなど、前工程から後工程までのほぼすべての装置が対象になり、中古装置の専門商社、装置メーカーの認定中古プログラム、オンラインのマーケットプレイスを通じて取引される。
中古装置の需要を支えているのは、200mm以下のウェハで作るパワー半導体・MEMS・センサー・アナログIC・化合物半導体である。これらは最先端の微細加工を必要としない一方、200mm向けの新品装置は機種が限られて納期も長くなりやすいため、既存の装置を再生して導入する方が早く、設備投資も抑えられる。300mmでも、成熟ノードのラインや研究開発の用途で中古装置が使われる。
取引の形態は、引き取った状態のまま渡す現状渡し（As-Is）、動作確認や部品交換まで済ませた整備品、装置メーカーが仕様どおりに再生して保証を付ける認定中古（リファービッシュ品）に大きく分かれ、この順に価格と信頼性が上がる。購入時には、稼働履歴、欠品部品、制御ソフトウェアのライセンス移転、保守部品の供給継続、輸出管理規制への該当の有無を確認する必要がある。
装置を別の工場へ移すには、解体・除染・梱包・輸送・再据付・立ち上げ調整が伴い、専門の物流会社や中古装置業者が請け負う。装置単体ではなく工場一式を譲渡する取引もあり、稼働中のファブを買い取れば新設するより短い期間で生産を始められる。
