リファービッシュ（Refurbishment）とは、使用済みの半導体製造装置を分解・洗浄し、摩耗や劣化した部品を交換して、元の仕様の性能まで回復させる再生作業のこと。業界では「リファブ」とも呼ばれる。再生した装置はリファービッシュ品として販売され、保証が付くことが多い。
作業は、受け入れ時の状態確認、モジュール単位への分解、部品の洗浄・修理・交換、再組み立て、動作確認と性能試験という順に進む。性能試験では、装置の種類に応じて膜厚の均一性、パーティクル数、重ね合わせ精度などを確かめる。装置メーカー自身が行う場合は純正部品と設計情報を使えるため、新品に近い仕様保証を付けられる。ASMLは生産を終えた露光装置PAS 5500を自社工場で再生し、新たな保証を付けて出荷している。
再生と合わせて、ウェハ口径の変更や処理ガスの追加といった仕様変更、制御用コンピュータやソフトウェアの置き換えなどの改造を行うこともある。制御系の置き換えは、古い電子部品が手に入らなくなって保守できなくなる事態への対策になる。生産終了した装置ブランドを引き継ぎ、旧型機を再製造（リマニュファクチャリング）する専業メーカーもある。
リファービッシュの対象は、200mm以下のラインで使われる露光装置・洗浄装置・CMP装置・検査装置などが中心で、パワー半導体やMEMS、化合物半導体の増産を支えている。
