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中古ステッパー・露光装置企業10社

中古のステッパー(縮小投影露光装置)は、200mm以下のウェーハで作るパワー半導体・MEMS・センサー・アナログなどのラインで、旧型機の増設や置き換えに使われています。中古で流通するのはi線ステッパーが中心で、KrFやArFのスキャナーも出回ります。露光装置は光源・投影レンズ・ステージ・アライメント系の状態で性能が決まり、移設後の再調整にも専門の技術者が要るため、本体の状態だけでなく、据え付け後の立ち上げと保守を誰が担うかまで含めて選ぶ必要があります。

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主要特徴

中古市場の中心はi線ステッパー、KrF・ArFのスキャナーも流通する
200mm以下の成熟ノードのラインで旧型機の増設・置き換えに使われる
光源・投影レンズ・ステージ・アライメント系の状態が性能を左右する
移設後の再調整と保守の担い手を、購入前に決めておく必要がある

中古で買うときの確認ポイント

  1. 光源の種類(i線ランプ・KrF・ArF)と、ランプやレーザーの交換履歴
  2. 投影レンズの状態(透過率・収差の測定記録があるか)
  3. 対応するウェーハ径とレチクルのサイズ・規格
  4. ステージ・干渉計・アライメント系の調整記録
  5. 装置制御ソフトのバージョンとライセンスの移転可否
  6. メーカーまたは専門業者による保守・再立ち上げが受けられるか

価格や在庫は各社へお問い合わせください。当サイトでは価格・在庫を掲載していません。

新品のステッパー・露光装置:i線ステッパー →DUV露光装置 →

よくある質問

中古のステッパーを買うときに一番注意すべき点は何ですか?▾
投影レンズと光源の状態、そして据え付け後に誰が再調整・保守を行うかです。露光装置は移設すると光学系やステージの再調整が必要で、メーカーや旧型機を専門に扱う業者の技術支援がないと本来の解像力や重ね合わせ精度が出ません。
中古のステッパーとマスクアライナーはどう選び分けますか?▾
マスクの像を縮小して投影するステッパーは、微細なパターンと高い重ね合わせ精度が要る量産向けです。マスクをウェーハに近づけて等倍で焼くマスクアライナーは構造が簡単で価格も抑えやすく、研究開発や比較的大きなパターンのMEMS・化合物デバイスで使われます。

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企業

10社の主要企業

トラストテクノロジー日本

2004年設立。中古半導体製造装置・液晶パネル製造装置・工作機械・産業機械の販売と、中古製造装置の買取・査定・売却を行う。

中古装置
半導体製造装置液晶パネル製造装置
サービス
買取・査定売却支援
  • •中古半導体製造装置の販売
  • •中古装置の買取・査定・売却
会社詳細
インターテック・スクエアード日本

中古の電子デバイス製造装置(部品・ソフトウェアを含む)の売買・保守・再生・改造と、電子デバイス製造装置の輸入代理販売を行う技術系商社。2014年設立。制御系のリフレッシュなど老朽化した装置の延命や、電子デバイス工場での装置の移設・廃棄工事の請負も手掛ける。

中古装置
売買・買取査定再生・改造
工事
装置移設撤去・廃棄
  • •中古装置の売買と買取査定
  • •制御系リフレッシュなど老朽装置の延命・改造
会社詳細
ナノ・ソルテック日本

ウエハ表面異物検査装置「WiN」シリーズや光学式顕微鏡などの自社製品と、中古のKLA-Tencor製品や露光・塗布現像装置の再生販売、保守サービスを行う。

中古再生装置
KLA-Tencor製検査装置露光・塗布現像装置
自社製品
ウエハ表面異物検査装置 WiNシリーズ
サービス
保守
  • •中古KLA-Tencor製品の再生販売
  • •露光・塗布現像装置の中古再生
会社詳細
アイアールシー日本

真空ポンプ・真空機器、半導体装置、分析機器、電気計測器などの中古機の買取・販売を行う。ターボ分子ポンプのオーバーホール・修理、マスフローコントローラの販売、真空・ガス配管の施工、クリーンルームの設計・施工も手掛ける。

中古機器
真空ポンプ・真空機器半導体装置分析機器電気計測器
サービス
ポンプのオーバーホール真空・ガス配管施工
  • •真空機器・半導体装置・分析機器の中古品
  • •ターボ分子ポンプのオーバーホール・修理
会社詳細
レアテック日本

2002年設立。ウルトラテック社製ステッパーを中心に、露光装置のメンテナンス、中古装置の売買、関連部品の販売を行う。

露光装置
ステッパーのメンテナンス中古装置の売買
部品
関連部品
  • •ウルトラテック製ステッパーの保守
  • •中古露光装置の売買
会社詳細
SurplusGLOBAL韓国

韓国・龍仁市に本拠を置く中古半導体製造装置の専門商社。前工程・後工程・ディスプレイ装置の売買と委託販売、コンサルティングを行い、部品・装置のオンラインプラットフォーム「SemiMarket」を運営する。装置の撤去・除染・再生・仕様変更や物流・輸出管理のサービスも提供する。

中古装置
売買委託販売オークション
技術サービス
撤去・除染再生・仕様変更物流・輸出管理
  • •前工程・後工程・ディスプレイ装置の売買と委託販売
  • •オンラインプラットフォーム「SemiMarket」
会社詳細
SDI Fabsurplusイタリア

イタリアの中古半導体製造装置の販売会社。前工程・組立・テスト・SMT・FPDなどの中古装置をオンラインで売買するマーケットプレイスを運営し、半導体・FPD・太陽電池の生産ラインや工場一式の売却も扱う。

中古装置
前工程装置組立・テスト装置SMT装置
工場売却
生産ライン一式
  • •前工程から組立・テストまでの中古装置の品揃え
  • •オンラインマーケットプレイスの運営
会社詳細
CAE米国

1982年創業。半導体装置を中心とする中古産業機器・ラボ機器のオンラインマーケットプレイスを運営し、資産の調達、出荷前の監査、物流、決済までを担う。IDM・ファウンドリ・装置メーカー・研究機関・再生業者と取引する。

マーケットプレイス
中古半導体装置中古ラボ機器
サービス
資産調達監査物流
  • •半導体装置中心のオンラインマーケットプレイス
  • •出荷資産の監査
会社詳細
GCE Market米国

米ニュージャージー州の装置再生会社。キヤノン製のウェハ露光装置(ステッパー)とKLA製の電子線計測装置(CD-SEM)の再生・再設計を専門とし、据付・立ち上げ、部品供給、技術サポートを行う。

再生装置
キヤノン製ステッパーKLA製CD-SEM
サービス
再設計据付・立ち上げ部品供給
  • •キヤノン製ステッパーの再生
  • •KLA製CD-SEMの再生
会社詳細
Stepper Equipment米国

ウルトラテック製ステッパーの再生品と部品を供給する米国企業。中古ステッパーの買取・販売(1年の部品保証付き)、900〜1900シリーズの新品・再生・交換部品、据付・修理・移設のフィールドサービスを行い、装置メーカーのサポートが終了した機種にも対応する。

再生装置
ウルトラテック製ステッパー
部品
新品・再生・交換部品
サービス
据付修理移設
  • •ウルトラテック製ステッパーの再生品
  • •サポート終了機種の部品供給
会社詳細

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