中古ステッパー・露光装置企業10社
中古のステッパー(縮小投影露光装置)は、200mm以下のウェーハで作るパワー半導体・MEMS・センサー・アナログなどのラインで、旧型機の増設や置き換えに使われています。中古で流通するのはi線ステッパーが中心で、KrFやArFのスキャナーも出回ります。露光装置は光源・投影レンズ・ステージ・アライメント系の状態で性能が決まり、移設後の再調整にも専門の技術者が要るため、本体の状態だけでなく、据え付け後の立ち上げと保守を誰が担うかまで含めて選ぶ必要があります。
主要特徴
中古で買うときの確認ポイント
- 光源の種類(i線ランプ・KrF・ArF)と、ランプやレーザーの交換履歴
- 投影レンズの状態(透過率・収差の測定記録があるか)
- 対応するウェーハ径とレチクルのサイズ・規格
- ステージ・干渉計・アライメント系の調整記録
- 装置制御ソフトのバージョンとライセンスの移転可否
- メーカーまたは専門業者による保守・再立ち上げが受けられるか
価格や在庫は各社へお問い合わせください。当サイトでは価格・在庫を掲載していません。
よくある質問
中古のステッパーを買うときに一番注意すべき点は何ですか?▾
中古のステッパーとマスクアライナーはどう選び分けますか?▾
関連ページ
企業
10社の主要企業
2004年設立。中古半導体製造装置・液晶パネル製造装置・工作機械・産業機械の販売と、中古製造装置の買取・査定・売却を行う。
- •中古半導体製造装置の販売
- •中古装置の買取・査定・売却
中古の電子デバイス製造装置(部品・ソフトウェアを含む)の売買・保守・再生・改造と、電子デバイス製造装置の輸入代理販売を行う技術系商社。2014年設立。制御系のリフレッシュなど老朽化した装置の延命や、電子デバイス工場での装置の移設・廃棄工事の請負も手掛ける。
- •中古装置の売買と買取査定
- •制御系リフレッシュなど老朽装置の延命・改造
ウエハ表面異物検査装置「WiN」シリーズや光学式顕微鏡などの自社製品と、中古のKLA-Tencor製品や露光・塗布現像装置の再生販売、保守サービスを行う。
- •中古KLA-Tencor製品の再生販売
- •露光・塗布現像装置の中古再生
真空ポンプ・真空機器、半導体装置、分析機器、電気計測器などの中古機の買取・販売を行う。ターボ分子ポンプのオーバーホール・修理、マスフローコントローラの販売、真空・ガス配管の施工、クリーンルームの設計・施工も手掛ける。
- •真空機器・半導体装置・分析機器の中古品
- •ターボ分子ポンプのオーバーホール・修理
2002年設立。ウルトラテック社製ステッパーを中心に、露光装置のメンテナンス、中古装置の売買、関連部品の販売を行う。
- •ウルトラテック製ステッパーの保守
- •中古露光装置の売買
韓国・龍仁市に本拠を置く中古半導体製造装置の専門商社。前工程・後工程・ディスプレイ装置の売買と委託販売、コンサルティングを行い、部品・装置のオンラインプラットフォーム「SemiMarket」を運営する。装置の撤去・除染・再生・仕様変更や物流・輸出管理のサービスも提供する。
- •前工程・後工程・ディスプレイ装置の売買と委託販売
- •オンラインプラットフォーム「SemiMarket」
イタリアの中古半導体製造装置の販売会社。前工程・組立・テスト・SMT・FPDなどの中古装置をオンラインで売買するマーケットプレイスを運営し、半導体・FPD・太陽電池の生産ラインや工場一式の売却も扱う。
- •前工程から組立・テストまでの中古装置の品揃え
- •オンラインマーケットプレイスの運営
1982年創業。半導体装置を中心とする中古産業機器・ラボ機器のオンラインマーケットプレイスを運営し、資産の調達、出荷前の監査、物流、決済までを担う。IDM・ファウンドリ・装置メーカー・研究機関・再生業者と取引する。
- •半導体装置中心のオンラインマーケットプレイス
- •出荷資産の監査
米ニュージャージー州の装置再生会社。キヤノン製のウェハ露光装置(ステッパー)とKLA製の電子線計測装置(CD-SEM)の再生・再設計を専門とし、据付・立ち上げ、部品供給、技術サポートを行う。
- •キヤノン製ステッパーの再生
- •KLA製CD-SEMの再生
ウルトラテック製ステッパーの再生品と部品を供給する米国企業。中古ステッパーの買取・販売(1年の部品保証付き)、900〜1900シリーズの新品・再生・交換部品、据付・修理・移設のフィールドサービスを行い、装置メーカーのサポートが終了した機種にも対応する。
- •ウルトラテック製ステッパーの再生品
- •サポート終了機種の部品供給
同じ分野の装置カテゴリ
中古のCMP装置は、ウェーハ表面を化学的・機械的に研磨して平坦にする装置で、成熟ノードのラインの増設や、旧型機の更新で探されます。
企業 8 社中古CVD装置中古のCVD装置は、ガスを反応させてウェーハ上に絶縁膜やシリコン膜を成膜する装置で、200mm以下の成熟ノードのラインや研究開発で使われます。
企業 8 社中古ダイシングソー(ダイサー)中古のダイシングソー(ダイサー)は、後工程の増設や研究開発、電子部品の切断用途で探される装置です。
企業 11 社中古ダイボンダー・フリップチップボンダー中古のダイボンダー・フリップチップボンダーは、切り分けたチップを基板やリードフレームに搭載・接合する装置です。
企業 12 社中古エッチング装置中古のエッチング装置は、成熟ノードのラインの増設、MEMSや化合物半導体の加工、研究開発で探されます。
企業 11 社中古マスクアライナー中古のマスクアライナーは、大学や企業の研究開発、MEMSや化合物半導体の小規模な生産でよく探される装置です。
企業 7 社中古プローバー中古のプローバーは、ウェーハ状態のチップに針を当てて電気特性を測るための装置で、量産のウェーハテストだけでなく、研究開発やデバイス評価でも多く探されます。
企業 14 社中古SEM(走査電子顕微鏡)中古のSEM(走査電子顕微鏡)は、試料の表面を電子線で観察する装置で、研究開発、品質管理、故障解析で広く探されます。
企業 13 社中古スパッタ装置中古のスパッタ装置は、金属や絶縁膜を成膜するための真空装置で、量産ラインの増設のほか、研究開発や電子部品の成膜で多く探されます。
企業 11 社中古ワイヤーボンダー中古のワイヤーボンダーは、チップの電極とリードフレームや基板を細い金属線でつなぐ装置で、後工程の増設、パワーデバイスやセンサーのパッケージング、研究開発の試作で探されます。
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