成熟ノード（Mature Node）とは、最先端ではなく、すでに量産技術が確立した世代の半導体プロセスのこと。明確な定義はないが、一般には28nm以上の世代を指すことが多く、レガシープロセス、レガシーノードとも呼ばれる。
成熟ノードで作られるのは、マイコン、電源IC、アナログIC、ディスプレイドライバ、イメージセンサ、パワー半導体、各種センサーなどで、自動車・産業機器・家電に大量に使われる。微細化による性能向上よりも、コスト、長期にわたる安定供給、高温・高電圧への耐性が重視される。
製造には、先端ノードのようなEUV露光装置は使わず、KrF・ArF・i線の露光装置など、確立した技術の装置が中心になる。200mmのラインも多く、設備の調達では中古装置や装置メーカーの再生品の比重が大きい。
2021年前後の半導体不足では、成熟ノードで作る車載マイコンなどが足りなくなり、自動車の減産につながった。その後は中国メーカーを中心に成熟ノードの生産能力が大きく増強され、価格競争や、各国の輸出管理・通商政策の論点になっている。
