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中古スパッタ装置企業11社

中古のスパッタ装置は、金属や絶縁膜を成膜するための真空装置で、量産ラインの増設のほか、研究開発や電子部品の成膜で多く探されます。カソードの数とターゲットのサイズ、DC・RFの電源構成、枚葉式かバッチ式か、ロードロックの有無で、できることと設置条件が大きく変わります。中古では、到達真空度と真空ポンプ・真空計の整備履歴、シールドや防着板などチャンバー内部品の状態、以前に成膜していた材料による汚染の持ち込みリスクを確認します。

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主要特徴

量産の増設、研究開発、電子部品の成膜で需要がある
カソード数・電源構成・枚葉かバッチかで用途が決まる
到達真空度と真空ポンプ・真空計の整備履歴を確認する
以前の成膜材料による汚染の持ち込みに注意する

中古で買うときの確認ポイント

  1. カソードの数とターゲットのサイズ、対応する電源(DC・RF)
  2. 到達真空度と、真空ポンプ・真空計のオーバーホール履歴
  3. 枚葉式かバッチ式か、ロードロックの有無と対応するウェーハ径
  4. シールド・防着板など、チャンバー内部品の状態と予備の有無
  5. 前に成膜していた材料と、汚染の持ち込みリスク
  6. 冷却水・ガス・電源の設備条件

価格や在庫は各社へお問い合わせください。当サイトでは価格・在庫を掲載していません。

新品のスパッタ装置:スパッタリング装置 →PVD装置 →

よくある質問

中古のスパッタ装置で真空系はどこを確認しますか?▾
到達真空度が仕様どおり出るか、ターボ分子ポンプやクライオポンプのオーバーホール履歴、真空計の校正状態、リークの有無です。真空ポンプは整備費用が大きいので、交換やオーバーホールの要否で総額が変わります。
前の使用者の成膜材料は関係ありますか?▾
関係します。チャンバーやシールドに残った金属が、別の材料を成膜するときの汚染源になることがあります。特に前工程で使う場合は、以前の成膜材料を確認し、部品の洗浄や交換が済んでいるかを確かめてください。

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企業

11社の主要企業

トラストテクノロジー日本

2004年設立。中古半導体製造装置・液晶パネル製造装置・工作機械・産業機械の販売と、中古製造装置の買取・査定・売却を行う。

中古装置
半導体製造装置液晶パネル製造装置
サービス
買取・査定売却支援
  • •中古半導体製造装置の販売
  • •中古装置の買取・査定・売却
会社詳細
インターテック・スクエアード日本

中古の電子デバイス製造装置(部品・ソフトウェアを含む)の売買・保守・再生・改造と、電子デバイス製造装置の輸入代理販売を行う技術系商社。2014年設立。制御系のリフレッシュなど老朽化した装置の延命や、電子デバイス工場での装置の移設・廃棄工事の請負も手掛ける。

中古装置
売買・買取査定再生・改造
工事
装置移設撤去・廃棄
  • •中古装置の売買と買取査定
  • •制御系リフレッシュなど老朽装置の延命・改造
会社詳細
アイアールシー日本

真空ポンプ・真空機器、半導体装置、分析機器、電気計測器などの中古機の買取・販売を行う。ターボ分子ポンプのオーバーホール・修理、マスフローコントローラの販売、真空・ガス配管の施工、クリーンルームの設計・施工も手掛ける。

中古機器
真空ポンプ・真空機器半導体装置分析機器電気計測器
サービス
ポンプのオーバーホール真空・ガス配管施工
  • •真空機器・半導体装置・分析機器の中古品
  • •ターボ分子ポンプのオーバーホール・修理
会社詳細
中古機械買取販売日本

2013年設立。真空機器・真空ポンプ・電気計測器・半導体関連装置などハイテク分野の中古機器の買取・販売を行い、中古機器を探せるサイト「中古機械買取販売市場」を運営する。

中古機器
真空機器・真空ポンプ電気計測器半導体関連装置
  • •ハイテク分野の中古機器に特化
  • •真空機器・電気計測器の品揃え
会社詳細
未来産業技術研究所(プロダクトアイ)日本

2018年設立。真空ポンプ・真空装置・部品・半導体装置などの中古機の買取・販売、中古産業ロボットの買取・販売と企画・設計・ソフト開発、工場設備の移設・移転を行う。

中古機器
真空ポンプ・真空装置半導体装置産業ロボット
サービス
工場設備の移設・移転
  • •真空装置・半導体装置の中古品売買
  • •中古産業ロボットの販売と再設計
会社詳細
ナノ・ソルテック日本

ウエハ表面異物検査装置「WiN」シリーズや光学式顕微鏡などの自社製品と、中古のKLA-Tencor製品や露光・塗布現像装置の再生販売、保守サービスを行う。

中古再生装置
KLA-Tencor製検査装置露光・塗布現像装置
自社製品
ウエハ表面異物検査装置 WiNシリーズ
サービス
保守
  • •中古KLA-Tencor製品の再生販売
  • •露光・塗布現像装置の中古再生
会社詳細
SurplusGLOBAL韓国

韓国・龍仁市に本拠を置く中古半導体製造装置の専門商社。前工程・後工程・ディスプレイ装置の売買と委託販売、コンサルティングを行い、部品・装置のオンラインプラットフォーム「SemiMarket」を運営する。装置の撤去・除染・再生・仕様変更や物流・輸出管理のサービスも提供する。

中古装置
売買委託販売オークション
技術サービス
撤去・除染再生・仕様変更物流・輸出管理
  • •前工程・後工程・ディスプレイ装置の売買と委託販売
  • •オンラインプラットフォーム「SemiMarket」
会社詳細
SDI Fabsurplusイタリア

イタリアの中古半導体製造装置の販売会社。前工程・組立・テスト・SMT・FPDなどの中古装置をオンラインで売買するマーケットプレイスを運営し、半導体・FPD・太陽電池の生産ラインや工場一式の売却も扱う。

中古装置
前工程装置組立・テスト装置SMT装置
工場売却
生産ライン一式
  • •前工程から組立・テストまでの中古装置の品揃え
  • •オンラインマーケットプレイスの運営
会社詳細
CAE米国

1982年創業。半導体装置を中心とする中古産業機器・ラボ機器のオンラインマーケットプレイスを運営し、資産の調達、出荷前の監査、物流、決済までを担う。IDM・ファウンドリ・装置メーカー・研究機関・再生業者と取引する。

マーケットプレイス
中古半導体装置中古ラボ機器
サービス
資産調達監査物流
  • •半導体装置中心のオンラインマーケットプレイス
  • •出荷資産の監査
会社詳細
GES Associates米国

米アリゾナ州フェニックスの中古半導体製造装置・スペアパーツの供給会社(GESemi)。装置の販売・再生・据付・立ち上げ・トレーニング・保証と委託販売を行い、エンドユーザーや装置メーカーに余剰装置を市場価格で回収する手段を提供する。

中古装置
販売委託販売再生
サービス
据付・立ち上げトレーニング保証
  • •余剰装置の委託販売と回収
  • •再生から据付・立ち上げまでの対応
会社詳細
Bid Service米国

米ニュージャージー州の中古・再生半導体装置とラボ機器の販売会社。電子製造装置、科学計測機器、分析機器、試験装置を扱う。

中古装置
半導体装置電子製造装置
計測・分析
科学計測機器分析機器試験装置
  • •中古・再生半導体装置の供給
  • •ラボ機器・分析機器の品揃え
会社詳細

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中古のワイヤーボンダーは、チップの電極とリードフレームや基板を細い金属線でつなぐ装置で、後工程の増設、パワーデバイスやセンサーのパッケージング、研究開発の試作で探されます。

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