Dektak Pro 是布魯克（Bruker）的探針式段差儀（表面輪廓儀，stylus profiler）。以優於 4Å 的重複精度，可量測個位數 nm 的段差。採用 LVDT 感測器技術，具備次奈米級的垂直解析度。
支援最大 200mm（8 吋）晶圓與厚度達 50mm 的試料。標準掃描長度為 55mm，透過掃描拼接可延伸至 200mm。載台可從手動 100mm 的 Dektak Pro E／S、自動 150mm 的 Dektak Pro A、附自動編碼器 200mm 的 Dektak Pro A200 中選擇。
以直驅式掃描載台加快量測，低慣性感測器 LIS 3 無需重新校正即可涵蓋 5nm～1mm 的段差。自動對位的探針更換容易，並以 64 位元平行處理的 Vision64 軟體快速處理資料。探針壓力為 1～15mg（N-Lite+ 選配為 0.03～15mg）。