Dektak Pro

Dektak の第11世代にあたる卓上型の触針式プロファイロメーター。

Dektak Proとは

Dektak Pro は、Bruker の触針式段差計（スタイラスプロファイラ）です。4Å より良い繰り返し精度で、1 桁 nm の段差を測定できます。LVDT センサー技術によりサブナノメートルの垂直分解能を持ちます。

最大 200mm（8 インチ）のウェーハと、厚さ 50mm までの試料に対応します。標準のスキャン長は 55mm で、スキャンのつなぎ合わせにより 200mm まで伸ばせます。ステージは手動 100mm の Dektak Pro E／S、自動 150mm の Dektak Pro A、自動エンコーダ付き 200mm の Dektak Pro A200 から選べます。

ダイレクトドライブの走査ステージで測定を速め、低慣性センサー LIS 3 は再校正なしで 5nm〜1mm の段差をカバーします。自動位置合わせの触針で交換が容易で、64 ビット並列処理の Vision64 ソフトウェアでデータを素早く処理します。触針圧は 1〜15mg（N-Lite+ オプションで 0.03〜15mg）です。

主な特長

•繰り返し精度 4Å 未満、サブナノメートルの垂直分解能
•最大 200mm ウェーハ・厚さ 50mm の試料
•LIS 3 センサーで 5nm〜1mm を再校正なしでカバー
•手動／自動の3種類のステージ構成

主な仕様

測定方式	触針式
測定範囲	最大 200 mm の全面アクセス
測定項目	膜厚段差・応力・表面粗さ・形状（再現性 4 Å 未満）
主要用途	研究開発・工程開発・品質管理

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	KLATencor® P-17	ブルカー（Bruker）Dektak Pro	パークシステムズ（Park Systems）Park NX-Wafer
測定方式	触針式（UltraLite センサ）	触針式	原子間力顕微鏡（AFM・自動）
測定範囲	200 mm スキャンステージ	最大 200 mm の全面アクセス	200 ～ 300 mm ウェーハ（EFEM 搬送）
測定項目	段差・表面粗さ・うねり・反り・薄膜応力	膜厚段差・応力・表面粗さ・形状（再現性 4 Å 未満）	表面粗さ・CMP プロファイル・ベアウェーハ欠陥レビュー
主要用途	Si・SiC・GaAs・サファイアウェーハの段差測定	研究開発・工程開発・品質管理	ウェーハ工場の検査・解析