FS-H 系列是 IWAKI 的氣動伸縮囊幫浦（bellows pump）。接觸液體的部位全部採用氟樹脂，外周也以氟樹脂鍍膜，為半導體製程專用品。
支援液溫 5～180℃，吐出壓力最大 0.45MPa。用於晶圓清洗、CMP 與化學品供應。
氣動伸縮囊泵 FS-H 系列的特點與規格
IWAKI・化學品幫浦（伸縮囊幫浦）
接液部全部採用氟樹脂、外周也施以氟樹脂鍍膜的半導體製程專用伸縮囊幫浦。
產品概要
主要規格
| 方式 | 氣動伸縮囊（接液部氟樹脂） |
|---|---|
| 液溫・壓力 | 5 ～ 180 ℃・吐出壓力最大 0.45 MPa |
| 主要用途 | 晶圓清洗・CMP・化學品供應 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
接液部全部為氟樹脂
液溫 5～180℃
吐出壓力最大 0.45MPa
主要用途
- 晶圓清洗
- CMP
- 化學品供應
製造商
IWAKI（總部：日本）