化學品幫浦(伸縮囊幫浦)是什麼

化學品幫浦(伸縮囊幫浦)是在不帶入金屬汙染與微粒的情況下,輸送氫氟酸、硫酸過氧化氫等強腐蝕性化學品的幫浦。接液部分僅以 PTFE 等氟樹脂構成,並以伸縮囊(bellows)的伸縮改變容積來輸送,因此滑動部不會接觸液體。能從結構上避免旋轉式幫浦常見的磨耗粉產生與密封部洩漏,是其被採用的原因,在清洗設備、顯影設備、電鍍設備的送液部被標準採用。脈動小也有助於塗佈均勻性。

重點整理

以氟樹脂接液部輸送強腐蝕性化學品,不造成金屬汙染
以伸縮囊的伸縮送液,滑動部不接觸液體
可從結構上避免磨耗粉產生與密封洩漏
脈動小,有助於塗佈與顯影的均勻性

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