エアー駆動ベローズポンプ FS-H シリーズとは
FS-H シリーズは、イワキのエアー駆動ベローズポンプです。液に触れる部分をすべてフッ素樹脂にし、外周もフッ素樹脂でコーティングした半導体プロセス専用品です。
液温 5〜180℃ に対応し、吐出圧力は最大 0.45MPa です。ウェーハ洗浄、CMP、薬液供給に使われます。
主な特長
- •接液部すべてフッ素樹脂
- •液温 5〜180℃
- •吐出圧力最大 0.45MPa
主な仕様
| 方式 | エアー駆動ベローズ（接液部フッ素樹脂） |
|---|---|
| 液温・圧力 | 5 ～ 180 ℃・吐出圧力最大 0.45 MPa |
| 主要用途 | ウェーハ洗浄・CMP・薬液供給 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-H シリーズ | イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-N シリーズ |
|---|---|---|
| 方式 | エアー駆動ベローズ（接液部フッ素樹脂） | エアー駆動ベローズ（接液部フッ素樹脂） |
| 液温・圧力 | 5 ～ 180 ℃・吐出圧力最大 0.45 MPa | 最大吐出量 100 L/min |
| 主要用途 | ウェーハ洗浄・CMP・薬液供給 | 薬液供給 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •ウェーハ洗浄
- •CMP
- •薬液供給
掲載カテゴリ
エアー駆動ベローズポンプ FS-H シリーズは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
イワキ
ケミカルポンプと流体制御機器のメーカー。マグネットポンプや定量ポンプに加え、半導体製造プロセスを主用途とする空気駆動ベローズポンプを展開し、自社開発のベローズで長寿命化を図っている。
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出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07