NRD 系列是 KITZ SCT 的高純度氣體用膜片閥。採用不使用彈簧的無彈簧膜片結構，抑制微粒產生。
支援 20.6MPa 的高壓，用於半導體製程的高壓氣體管線。該公司也提供高壓用的 VRD、通用的 VLD 與小型的 KCD。
NRD 系列的特點與規格
KITZ SCT・液體・氣體用零組件（接頭・管材）
以無彈簧膜片結構抑制微粒的 KITZ SCT 高純度氣體用膜片閥。
產品概要
主要規格
| 種類 | 高純度氣體用膜片閥 |
|---|---|
| 特點 | 支援高壓 20.6 MPa・無彈簧結構 |
| 相關機型 | VRD（高壓）／VLD（通用）／KCD（精巧型） |
| 主要用途 | 半導體製程的高壓氣體管線 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
無彈簧膜片結構
支援高壓 20.6MPa
主要用途
- 半導體製程的高壓氣體管線
製造商
KITZ SCT（總部：日本）