NRD シリーズ（高圧ダイヤフラムバルブ）
スプリングレスダイヤフラム構造でパーティクルを抑えたキッツエスシーティーの高純度ガス用ダイヤフラムバルブ。
NRD シリーズとは
NRD シリーズは、キッツエスシーティーの高純度ガス用ダイヤフラムバルブです。ばねを使わないスプリングレスのダイヤフラム構造で、パーティクルの発生を抑えています。
20.6MPa の高圧に対応し、半導体プロセスの高圧ガスラインで使われます。同社は高圧用の VRD、汎用の VLD、小型の KCD もそろえています。
主な特長
- •スプリングレスダイヤフラム構造
- •高圧 20.6MPa 対応
主な仕様
| 種類 | 高純度ガス用ダイヤフラムバルブ |
|---|---|
| 特徴 | 高圧 20.6 MPa 対応・スプリングレス構造 |
| 関連機種 | VRD（高圧）／VLD（汎用）／KCD（コンパクト） |
| 主要用途 | 半導体プロセスの高圧ガスライン |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | キッツエスシーティー（KITZ SCT）NRD シリーズ（高圧ダイヤフラムバルブ） | フジキン（Fujikin）集積化ガスシステム IGS® |
|---|---|---|
| 種類 | 高純度ガス用ダイヤフラムバルブ | 集積化ガス供給システム |
| 特徴 | 高圧 20.6 MPa 対応・スプリングレス構造 | 従来型の約 1/3 に小型化・一方向からのメンテナンス |
| 関連機種 | VRD（高圧）／VLD（汎用）／KCD（コンパクト） | FCS（圧力式流量制御） |
| 主要用途 | 半導体プロセスの高圧ガスライン | 半導体製造装置の超高純度ガス供給 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •半導体プロセスの高圧ガスライン
掲載カテゴリ
NRD シリーズは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
キッツエスシーティー（KITZ SCT）
総合バルブメーカーKITZグループの半導体向け専業会社。超高純度ガス用ダイヤフラムバルブ、腐食性ガス対応バルブ、真空・排気ライン用バルブを供給する。
液・ガス用部品（継手・チューブ）のほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07