液體・氣體用零組件(接頭・管材)是什麼
液體・氣體用零組件是在設備內輸送化學品、純水與氣體的閥門、接頭、管材、過濾器等管路零組件的總稱。半導體用途不只要求耐壓與耐蝕性,還要求內面平滑、死角(dead space)少、溶出物少。只要有液體滯留的縫隙,細菌與微粒就會在那裡滋生;內面粗糙則會使粒子剝落。氣體系統以電解拋光的無縫管與金屬密封接頭抑制水分吸附,化學品系統以氟樹脂杜絕金屬離子溶出,按系統區分材質是基本原則。
重點整理
構成設備內管路的閥門、接頭、管材、過濾器等零組件
要求內面平滑、死角少與溶出物少
氣體系統以電解拋光管與金屬密封接頭抑制水分吸附
化學品系統以氟樹脂杜絕金屬離子溶出